[发明专利]一种用于薄膜沉积系统的沉积单元

权利要求书

1.一种用于薄膜沉积系统的沉积单元，包括:

机器基部；

一个或多个沉积头，各沉积头包括:

输出面，所述输出面具有多个气体开口；

安装面，所述安装面与所述输出面相对并且与所述输出面平行，所述安装面包括多个沉积头气体端口；以及

气体通道，所述气体通道将在所述输出面上的所述气体开口中的各个连接到所述沉积头气体端口中的一个；以及

气体歧管，所述气体歧管刚性地附接到所述机器基部，所述气体歧管包括：

附接面，所述附接面具有一个或多个界面区域，各界面区域构造为与沉积头的所述安装面交界，并且包括在与所述沉积头气体端口相对应的位置中的多个歧管气体端口；

多个气体连接；以及

气体通道，所述气体通道将所述歧管气体端口中的各个连接到所述气体连接中的一个；

其中，所述沉积头中的各个在界面区域中以定位在所述歧管气体端口与所述沉积头气体端口之间的密封元件来刚性地紧固到所述气体歧管；

其中，各沉积头的所述安装面及所述气体歧管的所述附接面包括对准特征，所述对准特征用于使各沉积头与所述气体歧管的所述界面区域对准；

其中，所述气体开口为在所述沉积头的所述输出面上在跨轨道方向上延伸的气体缝，并且其中，运动控制器使基体在与所述跨轨道方向正交的沿轨道方向上移动；并且

其中，与所述沉积头中的两个相对应的所述界面区域在所述跨轨道方向上与彼此相邻，使得相邻的沉积头具有邻接端部，其中，相邻的沉积头的所述邻接端部包括互锁结构，所述互锁结构具有一系列交替的突起部和凹部，使得在相邻的沉积头中的一个上的所述邻接端部上的所述突起部适配到在相邻的沉积头中的另一个上的所述邻接端部上的所述凹部中。

2.根据权利要求1所述的沉积单元，其中，与所述沉积头相关联的所述密封元件通过承载器元件来互相连接。

3.根据权利要求2所述的沉积单元，其中，所述承载器元件包括与所述沉积头或所述气体歧管的所述对准特征接合的特征。

4.根据权利要求2所述的沉积单元，其中，所述承载器元件在所述沉积头的所述安装面之上延伸。

5.根据权利要求2所述的沉积单元，其中，所述沉积头的所述安装面或所述气体歧管的所述附接面包括对应的穴，所述承载器元件适配在所述对应的穴内。

6.根据权利要求2所述的沉积单元，其中，密封元件集成地形成到所述承载器元件中。

7.根据权利要求2所述的沉积单元，其中，密封元件插入到在所述承载器元件中的孔中。

8.根据权利要求1所述的沉积单元，其中，所述密封元件以弹性材料或可延展的可塑性变形的材料来制成。

9.根据权利要求1所述的沉积单元，其中，所述沉积头气体端口或所述歧管气体端口被沉孔特征包围，并且其中，所述密封元件适配在所述沉孔特征内。

10.根据权利要求9所述的沉积单元，其中，所述沉孔特征包括与所述密封元件接合的环形凸起特征。

11.根据权利要求1所述的沉积单元，其中，所述沉积单元包括多个沉积头，并且其中，紧固的沉积头定位成使得所述沉积头的所述输出面全部大致共面。

12.根据权利要求1所述的沉积单元，其中，各所述沉积头的所述安装面中的至少部分接触所述气体歧管的所述附接面的对应部分。

13.根据权利要求1所述的沉积单元，其中，在各沉积头的所述输出面中的所述气体开口包括多个气体输出开口，对应的气态材料通过所述多个气体输出开口从所述沉积头流出。