[发明专利]用于形成金属层的方法在审

专利信息
申请号: 201880018497.6 申请日: 2018-01-24
公开(公告)号: CN110462098A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 纳塔利娅·扎莫什奇克;康斯坦丁·利瓦诺夫;亚纳·谢宁 申请(专利权)人: 奥雷尔科技有限公司
主分类号: C23C18/14 分类号: C23C18/14
代理公司: 51258 成都超凡明远知识产权代理有限公司 代理人: 王晖;刘明<国际申请>=PCT/US20
地址: 以色列*** 国省代码: 以色列;IL
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摘要:
搜索关键词: 结晶金属 晶体生长 油墨 暴露 等离子体 等离子体辐射 结构化液体 金属离子 真空腔室 参数组 预定义 前体 三维 施加 生长
【权利要求书】:

1.一种用于在三维(3D)基体上形成结晶金属层的方法,包括:

将晶体生长油墨施加至所述3D基体的表面,其中,所述晶体生长油墨包括金属离子前体和结构化液体;以及

将所述3D基体在真空环境中暴露于等离子体辐射以引起所述3D基体上的结晶金属层的生长,其中,所述暴露基于预定义的暴露参数组。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述暴露于等离子体导致所述晶体生长油墨经历还原过程,其中,来自所述晶体生长油墨的所述结构化液体蒸发,并且其中,来自所述金属离子前体的金属离子接收来自所述等离子体的电子,将所述金属离子转化为金属原子并在所述3D基体上形成结晶金属层。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述结晶金属层包括以下中的至少一种:晶粒层、多晶层和半晶层。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述结晶金属层包括以下中的至少一种:独立的纳米晶体的涂布、纳米晶体簇的涂布、纳米晶体的互连网络、纳米晶体簇的互连网络以及完全均匀的多晶金属层。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,所述晶体生长油墨还包括以下中的至少一种:扩散液体、稳定液体和添加剂。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,所述晶体生长油墨组合物的形式是以下任何一种:溶液、分散体、悬浮液、凝胶和胶体。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,所述金属离子前体包括:盐,所述盐由金属阳离子和抗衡离子或配体的组组成。

8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述金属阳离子由配体稳定,从而形成有机金属配合物,使得所得盐通过配位键连接。

9.根据权利要求7所述的方法,其中,所述金属阳离子是以下中的至少一种的盐:Au、Ag、Pt、Pd、Cu、Ni、Co、Zn、In、Ti、V、Mn、Fe、Cr、Zr、Nb、Mo、W、Ru、Rh、Ca、Re、Os、Ir、Al、Ga、Sn和Sb。

10.根据权利要求7所述的方法,其中,所述抗衡离子和配体为以下中的至少一种的形式:M(NO3)n、M(SO4)n、MCln、HmMCIn+m和MN,其中,M是化合价为“n”的金属原子或的金属合金,“N”是烷基-、烯丙基-或乙酰基-、羰基、羧基、环戊二烯基、苯基-、联苯基-、吡啶-、联吡啶-、芳香族、氰基-、酰胺部分,以及“m”是抗衡离子的化合价。

11.根据权利要求1所述的方法,其中,所述结构化液体具有以下中的至少一个:10-1000厘泊(cP)之间的动态粘度和0-100帕(Pa)之间的蒸气压。

12.根据权利要求1所述的方法,其中,所述结构化液体包括以下中的至少一种:环状醇、亚砜、甲酰胺、乙胺、二元醇、二醇、二醇醚、甘油和碳酸亚丙酯。

13.根据权利要求1所述的方法,其中,所述结构化液体按重量计占所述晶体生长油墨的大于20%,并且所述金属离子前体按重量计占大于0.01%。

14.根据权利要求5所述的方法,其中,所述扩散液体包括以下中的至少一种:醇、甲苯、二噁烷、亚砜、甲酰胺、乙胺、二醇醚和乙腈。

15.根据权利要求5所述的方法,其中,所述扩散液体具有10至40毫牛顿每米(mN/m)之间的表面张力。

16.根据权利要求5所述的方法,其中,所述扩散液体按重量计占所述晶体生长油墨的至多达80%。

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