[发明专利]布线板的制造方法有效
申请号: | 201880019307.2 | 申请日: | 2018-03-09 |
公开(公告)号: | CN110447313B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 中村利美;松浦宜范 | 申请(专利权)人: | 三井金属矿业株式会社 |
主分类号: | H05K3/46 | 分类号: | H05K3/46 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 布线 制造 方法 | ||
本发明提供一种布线板的制造方法,其中,该布线板的制造方法包含以下工序:工序(a),准备复合层叠体,该复合层叠体依次具备支承体、剥离层以及多层布线板;工序(b),将复合层叠体载置在载物台上,使复合层叠体的一个面密合于载物台;以及工序(c),在使复合层叠体的一个面密合于载物台的状态下,以使支承体或多层布线板形成曲率半径200mm~5000mm的凸曲面的方式从剥离层剥离支承体或多层布线板。采用本发明的方法,在无芯布线板等布线板的制造过程中,防止支承体的破裂、多层布线板的裂纹、断线等缺陷的产生,能够进行稳定的剥离。
技术领域
本发明涉及一种布线板的制造方法。
背景技术
在无芯积层法这样的无芯布线板的制造过程中,进行从具备支承体/剥离层/多层布线板的复合层叠体剥离支承体并取出多层布线板的作业。以往,对于支承体的剥离,把持支承体或多层布线板的端部并机械地进行剥离的方法是主流。
另外,作为最近的趋势,具有刚性的支承体增多,另一方面,多层布线板变得更薄。然而,若欲在该状况下进行支承体的剥离,则存在如下问题:支承体破裂或在多层布线板产生裂纹、断线等不良情况。
作为无芯布线板的制造过程中的支承体的剥离方法,提出了各种方法。例如,在专利文献1(日本特开2015-005644号公报)中提出了如下一种方法:将刀具插入剥离层界面,一边充入界面压缩空气一边使刀具移动,从而将支承体剥离。
专利文献1:日本特开2015-005644号公报
发明内容
但是,在专利文献1的方法中,使用该刀具的方法容易对布线层造成损伤。例如,有时刀具打滑而对布线层造成损伤。另外,在刀具的插入或移动时,有时经受不住剥离层界面处的局部应力的作用而使布线层受到损伤。
本发明人等此次得到了如下见解:在使复合层叠体(包含支承体、剥离层以及多层布线板)密合于载物台的状态下,以使支承体或多层布线板形成规定的凸曲面的方式将支承体或多层布线板从剥离层剥离,由此防止支承体的破裂、多层布线板的裂纹、断线等缺陷的产生,能够进行稳定的剥离。
因此,本发明的目的在于,在无芯布线板等布线板的制造过程中,防止支承体的破裂、多层布线板的裂纹、断线等缺陷的产生,能够进行稳定的剥离。
根据本发明的一个技术方案,提供一种布线板的制造方法,其中,该布线板的制造方法包含以下工序:工序(a),准备复合层叠体,该复合层叠体依次具备支承体、剥离层以及多层布线板;工序(b),将所述复合层叠体载置在载物台上,使所述复合层叠体的一个面密合于所述载物台;以及工序(c),在使所述复合层叠体的一个面密合于所述载物台的状态下,以使所述支承体或所述多层布线板形成曲率半径200mm~5000mm的凸曲面的方式从所述剥离层剥离所述支承体或所述多层布线板。
附图说明
图1是表示本发明的方法中的工序(a)和工序(b)的图。
图2是表示本发明的方法中的工序(c)的一个方式的图。
图3是表示本发明的方法中的工序(c)的另一个方式的图。
图4是表示在实施例中使用的圆筒状头的一个例子的图。
具体实施方式
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