[发明专利]滑动构件和活塞环

权利要求书

1.一种滑动构件，其具备母材和形成在所述母材的表面上的非晶质硬质碳膜，

所述非晶质硬质碳膜具有sp²比随着从作为所述母材侧的内表面侧朝向外表面侧而增加的倾斜结构，

将所述非晶质硬质碳膜的所述内表面侧的sp²比设为A％、将所述非晶质硬质碳膜的所述外表面侧的sp²比设为B％时，(B-A)的值为20以上，

其中，sp²比表示非晶质硬质碳膜中的sp²键相对于sp²键和sp³键的比即sp²/(sp²+sp³)，是指基于通过电子能量损失谱法得到的谱图算出的值。

2.如权利要求1所述的滑动构件，其中，

所述非晶质硬质碳膜的所述内表面侧的sp²比小于40％，

所述非晶质硬质碳膜的所述外表面侧的sp²比大于65％。

3.如权利要求1或2所述的滑动构件，其中，所述非晶质硬质碳膜的氢含量小于5原子％。

4.如权利要求1或2所述的滑动构件，其中，所述非晶质硬质碳膜的厚度为3μm～40μm。

5.如权利要求1或2所述的滑动构件，其中，存在于所述非晶质硬质碳膜的表面的大小为300μm²以上的液滴的密度为600个/mm²以下。

6.如权利要求1或2所述的滑动构件，其中，所述母材由热导率为30W/(m·K)以上的钢铁材料构成。

7.如权利要求1或2所述的滑动构件，其中，在所述母材与所述非晶质硬质碳膜之间进一步具备中间层。

8.一种活塞环，其由权利要求1～7中任一项所述的滑动构件构成。