[发明专利]对象识别和比较

权利要求书

1.一种对象识别的方法，包括：

从一组已成形特征中选择一个已成形特征，该组已成形特征中的每个已成形特征在该已成形特征的形状的周边上具有一组点，并且该组已成形特征来自用于通过光刻过程成像到具有辐射敏感层的衬底上的布局和/或来自从通过所述光刻过程处理的所述衬底获取的图像；

由硬件计算机为所选已成形特征创建多个形状情境描述符，其中每个形状情境描述符提供所述一组点的第一焦点相对于所述一组点的第二点在形状情境描述符框架中的位置的指示；而且

由所述硬件计算机基于来自所述多个形状情境描述符的数据从所述一组已成形特征中识别具有与所选已成形特征相同或类似形状的已成形特征。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，来自所述多个形状情境描述符的数据包括形状情境描述符矢量，所述形状情境描述符矢量针对所述形状情境描述符框架中的多个不同位置中的每一个位置描述指示各个所述位置的所述多个形状情境描述符的数目的计数。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述多个形状情境描述符包括多组形状情境描述符，每组形状情境描述符包括所述一组点中的一个特定焦点相对于所述一组点中的多个其它点的形状情境描述符。

4.根据权利要求1所述的方法，包括为该一组所述已成形特征的每个已成形特征创建多个形状情境描述符。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，来自所述多个形状情境描述符的数据包括从所述形状情境描述符中概括的形状签名。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括基于来自所述多个形状情境描述符的数据的聚类生成形状签名。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述聚类包括对维度与所述形状情境描述符框架内的不同位置对应的多维空间内的点进行聚类，并且多维空间点具有与指示特定的不同位置的形状情境描述符的数目的计数对应的量值，和/或所述聚类包括由k-均值聚类的形式来识别聚类。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，来自所述多个形状情境描述符的数据包括来自多个不同已成形特征的形状情境描述符数据。

9.根据权利要求6所述的方法，还包括使用所述形状签名来从所述一组已成形特征中识别其它特征。

10.根据权利要求1所述的方法，还包括基于来自所述多个形状情境描述符的数据来确定所述一组特征之中的相似形状。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，确定相似形状包括使用哈希函数将相似形状分筐到同一类别中。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述哈希函数被应用于所述一组特征的每个特征的形状签名。

13.根据权利要求1所述的方法，其中所述一组已成形特征包括以至少两种不同格式描述的特征。

14.根据权利要求1所述的方法，其中，所述形状情境描述符被创建为形状取向不变。

15.一种计算机程序产品，包括具有记录其上的指令的非易失性计算机可读介质，所述指令在由计算机执行时实施根据权利要求1至14中任一项所述的方法。