[发明专利]截面观察装置以及控制方法

权利要求书

1.一种截面观察装置，其对物体照射带电粒子束而使所述物体的截面反复露出，并且对露出的多个所述截面中的至少一部分所述截面照射带电粒子束而取得表示所述至少一部分所述截面中的各个截面的截面像信息，生成取得的各个该截面像信息所表示的所述截面的截面像，从而生成将所生成的各个所述截面像叠加而得到的三维像，其中，

该截面观察装置将第1三维像与第2三维像一起显示于显示部，其中，该第1三维像是将第1截面像叠加而得到的三维像，该第2三维像是将第2截面像叠加而得到的三维像，该第1截面像是基于互相不同的多个观察条件中的第1条件而取得的各个所述截面像信息所表示的所述截面的所述截面像，该第2截面像是基于所述观察条件中的与所述第1条件不同的第2条件而取得的各个所述截面像信息所表示的所述截面的所述截面像，

被重叠为所述第1三维像的所述第1截面像中的各个第1截面像与被重叠为所述第2三维像的所述第2截面像中的各个第2截面像对应有高度，

在从用户受理了作为对象高度而示出所述高度的高度信息的情况下，进行第3处理和第4处理，

所述第3处理是如下处理：根据所受理的所述高度信息，确定被重叠为所述第1三维像的所述第1截面像中的与所述对象高度以上的高度对应起来且与最低高度以下的高度对应起来的所述第1截面像，新生成基于确定出的所述第1截面像的所述第1三维像，取代在所述显示部中显示着的所述第1三维像而重新使所述显示部显示新生成的所述第1三维像，

所述第4处理是如下处理：根据所受理的所述高度信息，确定被重叠为所述第2三维像的所述第2截面像中的与所述对象高度以上的高度对应起来且与最低高度以下的高度对应起来的所述第2截面像，新生成基于确定出的所述第2截面像的所述第2三维像，取代在所述显示部中显示着的所述第2三维像而重新使所述显示部显示新生成的所述第2三维像。

2.根据权利要求1所述的截面观察装置，其中，

使所述第1三维像的姿势与所述第2三维像的姿势一致而使所述第2三维像与所述第1三维像一起显示于所述显示部。

3.根据权利要求1或2所述的截面观察装置，其中，

根据从用户受理的操作，在所述显示部中不使所述第1三维像和所述第2三维像重叠，而是将所述第2三维像与所述第1三维像一起显示于所述显示部。

4.根据权利要求1或2所述的截面观察装置，其中，

根据从用户受理的操作，在所述显示部中使所述第1三维像的位置和姿势与所述第2三维像的位置和姿势重叠而将所述第2三维像与所述第1三维像一起显示于所述显示部。

5.根据权利要求1或2所述的截面观察装置，其中，

在从用户受理了表示被重叠为所述第1三维像的所述第1截面像中的1个所述第1截面像所示的所述截面的信息的情况下，该截面观察装置将被重叠为所述第2三维像的所述第2截面像中的表示该截面的所述第2截面像与表示受理的该信息所示的所述截面的所述第1截面像一起显示于所述显示部。

6.根据权利要求1或2所述的截面观察装置，其中，

在受理了使显示于所述显示部的三维像的姿势发生变化的操作的情况下，使所述第1三维像的姿势和所述第2三维像的姿势双方变化为与该操作对应的姿势。

7.根据权利要求1或2所述的截面观察装置，其中，

并行地进行第1处理和第2处理，在该第1处理中，将基于所述第1条件而取得的各个所述截面像信息所表示的所述截面的所述第1截面像叠加而生成所述第1三维像，在该第2处理中，将基于所述第2条件而取得的各个所述截面像信息所表示的所述截面的所述第2截面像叠加而生成第2三维像。

8.根据权利要求7所述的截面观察装置，其中，

将基于所述第1条件而取得的所述截面像信息和基于所述第2条件而取得的所述截面像信息对应起来而得到的信息存储于存储部，从所述存储部取得该信息，根据所取得的该信息来进行所述第1处理和所述第2处理。