[发明专利]复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法

权利要求书

1.一种复合烧结体，其为含有作为主相的金属氧化物及作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，

所述碳化硅的晶粒分散在所述金属氧化物的晶粒内及所述金属氧化物的晶体晶界中，

分散在所述金属氧化物的晶粒内的所述碳化硅的晶粒的比例相对于所述碳化硅的晶粒整体以面积比计为25％以上。

2.根据权利要求1所述的复合烧结体，其中，

所述金属氧化物为氧化铝或氧化钇。

3.根据权利要求1或2所述的复合烧结体，其中，

所述金属氧化物的平均晶体粒径为1.2μm以上且10μm以下。

4.一种静电卡盘部件，其具有：

板状基体，将权利要求1至3中任一项所述的复合烧结体作为形成材料，且一个主面为载置板状试样的载置面；及

静电吸附用电极，设置于所述基体的与所述载置面相反的一侧或所述基体的内部。

5.一种静电卡盘装置，其具备权利要求4所述的静电卡盘部件。

6.一种复合烧结体的制造方法，其包括：

将金属氧化物粒子及碳化硅粒子进行混合的工序；

针对在所述进行混合的工序中获得的浆料，将所述浆料的pH调整在所述浆料中的所述金属氧化物粒子的表面电荷成为正值，且所述浆料中的所述碳化硅粒子的表面电荷成为负值的范围内的工序；

从调整pH之后的所述浆料去除分散介质之后形成成型体的工序；及

在非氧化性气氛下、以25MPa以上的压力压实所获得的成型体的同时加热至1600℃以上来进行加压烧结的工序。

7.根据权利要求6所述的复合烧结体的制造方法，其中，

将所述金属氧化物粒子及碳化硅粒子进行混合的工序为分别高速喷射金属氧化物粒子及碳化硅粒子并使它们彼此碰撞的同时进行混合的工序。

8.根据权利要求6所述的复合烧结体的制造方法，其在所述进行混合的工序之前，还包括对所述碳化硅粒子的表面进行氧化处理的工序。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的复合烧结体的制造方法，其中，

所述调整pH的工序中，所述浆料的pH设为3以上且7以下。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的复合烧结体的制造方法，其中，

所述金属氧化物粒子中，金属氧化物的含量为99.99％以上。