[发明专利]用于沉积含硅膜的有机氨基聚硅氧烷

权利要求书

1.一种组合物，其包含至少一种有机氨基聚硅氧烷化合物，所述至少一种有机氨基聚硅氧烷化合物选自：3-乙基甲基氨基-1,1,1,3,5,5,5-七甲基三硅氧烷、3-二甲基氨基-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、3-二乙基氨基-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、3-乙基甲基氨基-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、3-二异丙基氨基-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、3-二甲基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-二乙基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-乙基甲基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-二异丙基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-二甲基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、3-二乙基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、3-乙基甲基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、3-二异丙基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、1-二甲基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、1-二乙基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、1-乙基甲基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、1-二异丙基氨基-3-(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,3,5,5-五甲基三硅氧烷、3-二甲基氨基-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-二乙基氨基-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-乙基甲基氨基-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-二异丙基氨基-1,1,1,3,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-二甲基氨基-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、3-二乙基氨基-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、3-乙基甲基氨基-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、3-二异丙基氨基-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、1-二甲基氨基-3,3-双(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、1-二乙基氨基-3,3-双(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、1-乙基甲基氨基-3,3-双(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、1-二异丙基氨基-3,3-双(二甲基甲硅烷氧基)-1,1,5,5-四甲基三硅氧烷、3-甲基氨基-1,1,1,3,5,5,5-七甲基三硅氧烷、3-乙基氨基-1,1,1,3,5,5,5-七甲基三硅氧烷、3-异丙基氨基-1,1,1,3,5,5,5-七甲基三硅氧烷、3-叔丁基氨基-1,1,1,3,5,5,5-七甲基三硅氧烷、3-甲基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-乙基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-异丙基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷、3-叔丁基氨基-3-(三甲基甲硅烷氧基)-1,1,1,5,5,5-六甲基三硅氧烷。

2.根据权利要求1所述的组合物，其还包含至少一个选自溶剂和吹扫气体的成员。

3.根据权利要求2所述的组合物，其中所述溶剂选自己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十二烷、环辛烷、环壬烷、环癸烷、乙基环己烷、乙基环辛烷、六甲基二硅氧烷和八甲基三硅氧烷。

4.根据权利要求1所述的组合物，其中所述组合物包含通过ICP-MS测量以重量计小于5ppm的一种或多种选自卤化物、金属离子、金属及其组合的杂质。