[发明专利]用于基板输送设备位置补偿的方法和设备

权利要求书

1.一种用于处理工具的基板输送系统的基板输送经验臂下垂测绘设备，所述测绘设备包括：

框架；

安置在所述框架上的接口，所述接口形成基准特征，所述基准特征代表由所述基板输送系统限定的在所述处理工具中的基板输送空间；

基板输送臂，所述基板输送臂是铰接的并且具有基板固持器，所述基板输送臂以与所述基准特征中的至少一个的预定关系安装到所述框架；以及

记录系统，所述记录系统相对于所述基板输送臂和至少一个基准特征安置，使得所述记录系统在臂下垂距离记录中记录经验臂下垂距离，其是由于在第一臂位置和不同于所述第一臂位置的第二臂位置之间的并且其中所述基板固持器沿着至少一个运动轴线在所述输送空间中移动的臂下垂改变而引起的。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述臂下垂距离记录描述在所述第一臂位置和第二臂位置处以及在不同于第一和第二臂位置两者的第三臂位置处的所述经验臂下垂距离，其中，所述基板固持器沿着所述至少一个运动轴线移动。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述臂下垂距离记录被实现为以便限定曲线，所述曲线描述相对于臂位置的臂下垂距离变化，其中，所述基板固持器沿着所述至少一个运动轴线移动。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述曲线描述相对于臂位置的臂下垂距离变化，其中，所述基板固持器沿着多于一个不同运动轴线移动，所述运动轴线限定所述基板输送空间中的转移平面或转移体积。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述曲线针对沿着所述多于一个不同运动轴线中的每个的基板固持器运动来描述相对于臂位置的离散臂下垂距离变化。

6.根据权利要求3所述的设备，其中，所述臂下垂距离记录被实现为数据查找表或算法。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述至少一个运动轴线是至少在包围所述基板输送臂的所述基板输送空间的每个象限中的所述基板输送臂的延伸轴线、或所述基板输送臂的至少旋转轴线、或所述基板输送臂的至少举升轴线。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述基板输送臂安装有驱动区段，所述驱动区段具有驱动臂运动的同轴驱动心轴。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述基板输送臂能够从多个不同的可互换的输送臂来选择，所述输送臂中的每个具有由所述设备的所述记录系统记录的不同的对应臂下垂距离记录，每个记录描述特定于所述对应输送臂的经验臂下垂距离。

10.一种方法，所述方法包括：

提供具有接口的框架，所述接口安置在所述框架上，所述接口形成基准特征，所述基准特征代表由所述处理工具的基板输送系统限定的在所述处理工具中的基板输送空间；

以与所述基准特征中的至少一个的预定关系将基板输送臂安装到所述框架，所述基板输送臂是铰接臂并且具有基板固持器；以及

利用记录系统在臂下垂记录中记录经验臂下垂距离，所述臂下垂距离由于在第一臂位置和不同于所述第一臂位置的第二臂位置之间的并且其中所述基板固持器沿着至少一个运动轴线在所述输送空间中移动的臂下垂改变而引起，所述记录系统相对于所述基板输送臂和至少一个基准特征安置。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述臂下垂距离记录描述在所述第一臂位置和第二臂位置处以及在不同于第一和第二臂位置两者的第三臂位置处的所述经验臂下垂距离，其中，所述基板固持器沿着所述至少一个运动轴线移动。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述臂下垂距离记录被实现为以便限定曲线，所述曲线描述相对于臂位置的臂下垂距离变化，其中，所述基板固持器沿着所述至少一个运动轴线移动。