[发明专利]EUV用感光性光刻胶微细图案形成用显影液组合物有效
| 申请号： | 201880021974.4 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110476127B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 李秀珍;金起洪;李昇勋;李昇炫 | 申请（专利权）人： | 荣昌化学制品株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | euv 感光性 光刻 微细 图案 形成 显影液 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种微细图案形成用显影液组合物，包括：
以下述化学式1表示的水溶性聚合物；
以下述化学式2表示的非离子性表面活性剂；及
碱性化合物，
[化学式1]
在所述化学式1中，n为选自10至50中的整数，
[化学式2]
在所述化学式2中，m为分别选自10至40中的整数。
2.根据权利要求1所述的微细图案形成用显影液组合物，其特征在于，在所述化学式1中，n为选自20至30中的整数。
3.根据权利要求1所述的微细图案形成用显影液组合物，其特征在于，在所述化学式2中，m为分别选自10至20中的整数。
4.根据权利要求1所述的微细图案形成用显影液组合物，其特征在于，所述碱性化合物为选自由四乙基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、氢氧化钾、磷酸钠、硅酸钠、碳酸氢钠组成的组中的一种以上。
5.根据权利要求1所述的微细图案形成用显影液组合物，其特征在于，
所述组合物，相对于组合物总重量，由水溶性聚合物0.1至5重量％、非离子性表面活性剂0.01至5重量％、碱性化合物0.1至10重量％及其余的去离子水组成。
6.一种利用权利要求1至5中任一项所述的微细图案形成用显影液组合物的微细图案形成方法。
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