[发明专利]处理方法及处理装置

权利要求书

1.一种处理方法，其为对包含固体物质的疲劳显影液去除所述固体物质的方法，所述固体物质通过借助使用清洗液的显影去除图像式曝光后的感光性树脂版的未曝光部而生成，且所述固体物质包括比所述清洗液比重小的第1固体物质、以及比所述清洗液比重大的第2固体物质，该处理方法具有：

第1工序，在旋转的容器内，将所述疲劳显影液中所包含的所述第1固体物质及所述第2固体物质进行离心分离，且将所述第2固体物质堆积于所述容器的内壁，并将所述第1固体物质堆积于设置于所述容器内的保持部件；

第2工序，停止所述离心分离，且在堆积于所述保持部件的所述第1固体物质

保持于所述保持部件的状态下，将所述疲劳显影液从所述容器中排出；及

第3工序，使所述容器旋转，并将保持于所述保持部件的所述第1固体物质从所述保持部件中去除。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其中，

在所述第2工序与所述第3工序之间，具有将所述第2固体物质从所述容器中去除的工序，

在所述第3工序之后，具有将所述第1固体物质从所述容器中去除的工序。

3.根据权利要求1所述的处理方法，其中，

在所述第3工序之后，具有将所述第1固体物质及所述第2固体物质同时从所述容器中去除的工序。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的处理方法，其中，具有；

将从所述容器中排出的所述疲劳显影液作为所述清洗液再使用的工序或使从所述容器中排出的所述疲劳显影液通过分离膜并作为所述清洗液再使用的工序，该分离膜去除通过所述显影而生成的所述固体物质。

5.一种处理装置，其具有：

具有开口部的容器，储存包含固体物质的疲劳显影液，所述固体物质通过借助使用清洗液的显影去除图像式曝光后的感光性树脂版的未曝光部而生成，且所述固体物质包括比所述清洗液比重小的第1固体物质、以及比所述清洗液比重大的第2固体物质；

驱动部，使所述容器旋转，以使所述第1固体物质及所述第2固体物质在所述容器内离心分离；

限制部件，在所述容器内且面向所述开口部设置，并将所述第1固体物质储存于所述容器内；及

保持部件，在所述容器内且在相对于所述限制部件为与所述开口部相反的一侧至少设有一个，且保持通过所述离心分离而堆积的所述第1固体物质，

所述处理装置具有控制部，通过所述驱动部使储存有所述疲劳显影液的所述容器旋转，以使其进行所述离心分离，将所述第1固体物质堆积于所述保持部件，且停止基于所述驱动部的所述容器的旋转，在堆积于所述保持部件的所述第1固体物质保持于所述保持部件的状态下，所述疲劳显影液从所述容器内被排出之后，再次通过所述驱动部使所述容器旋转。

6.根据权利要求5所述的处理装置，其中，具有；

去除部，将存在于所述容器内的所述第1固体物质及所述第2固体物质从所述容器中去除。

7.根据权利要求5所述的处理装置，其中，

所述限制部件为具有开口的圆板，所述保持部件为圆板或具有开口的圆板。

8.根据权利要求6所述的处理装置，其中，

所述限制部件为具有开口的圆板，所述保持部件为圆板或具有开口的圆板。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的处理装置，其中，

具有去除通过所述显影而生成的所述固体物质的分离膜，且使从所述容器中排出的所述疲劳显影液通过所述分离膜并作为所述清洗液再使用或不通过所述分离膜而作为所述清洗液再使用。

10.根据权利要求5至8中任一项所述的处理装置，其中，

将从所述容器中排出的所述疲劳显影液作为所述清洗液再使用。