[发明专利]用于光刻胶粘合剂中的单体的定量分析方法

权利要求书

1.一种通过两种或更多种单体的聚合得到的光刻胶(PR)粘合剂中的单体的定量分析方法，该定量分析方法包括以下步骤：

(1)制备作为标准品的粘合剂，该粘合剂通过与所述光刻胶粘合剂相同的单体聚合得到；

(2)利用Py-GC/MS分析步骤(1)中制备的所述标准品和所述光刻胶粘合剂；和

(3)将步骤(2)的分析结果归一化以确定所述光刻胶粘合剂中的所述两种或更多种单体的重量比。

2.根据权利要求1所述的光刻胶粘合剂中的单体的定量分析方法，其中，所述光刻胶粘合剂中的所述单体包括丙烯酸酯单体或甲基丙烯酸酯单体。

3.根据权利要求1所述的光刻胶粘合剂中的单体的定量分析方法，其中，所述光刻胶粘合剂中的所述单体包括选自丙烯酸乙基己酯(EHA)、丙烯酸丁酯(BA)、丙烯酸甲酯(MA)、丙烯酸乙酯(EA)、甲基丙烯酸乙基己酯(EHMA)、甲基丙烯酸丁酯(BMA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸乙酯(EMA)、甲基丙烯酸苄酯(BzMA)、N-苯基马来酰亚胺(N-PMI)、苯乙烯、甲基丙烯酸月桂酯(LMA)、甲基丙烯酸环己酯(CHMA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)和2-羟基丙烷-1,3-二基双(2-甲基丙烯酸酯)(反应性甲基丙烯酸酯，RMA)中的两种或更多种单体。

4.根据权利要求1所述的光刻胶粘合剂中的单体的定量分析方法，其中，所述利用Py-GC/MS分析在500℃至700℃的热解器温度下进行。

5.根据权利要求1所述的光刻胶粘合剂中的单体的定量分析方法，其中，用于所述Py-GC/MS分析的GC烘箱温度在50℃至60℃下保持3分钟至10分钟，然后以10℃/min至15℃/min的速率升高到300℃至350℃，并且最终在300℃至350℃下保持5分钟至20分钟。