[发明专利]层叠体及其制造方法以及闸门密封件

说明书

本发明提供一种层叠体以及包含该层叠体的闸门密封件，所述层叠体包含：金属基材，其具有形成有阳极氧化膜的表面；氟树脂层，其与阳极氧化膜相接而层叠；以及氟弹性体层，其与氟树脂层的与金属基材相反一侧的表面相接而层叠。

技术领域

本发明涉及一种具备金属基材和氟弹性体层的层叠体及其制造方法、以及包含该层叠体的闸门密封件(gate seal)。

背景技术

一般而言，半导体制造装置的真空腔室设有用于放入/取出晶片等被处理物的闸门，该闸门具备用于进行闸门的开闭的闸门密封件。闸门密封件通常由金属基材和密合地配置于该金属基材的表面的密封件构成，能够利用该密封件的密封性来保持腔室内外的差压。

日本特开平06－157686号公报(专利文献1)记载了：将金属与含氟弹性体组合物的固化物经由粘接剂进行层叠，将层叠出的层叠体适用于油封、曲轴密封件(crank shaftseal)等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平06－157686号公报

发明内容

发明所要解决的问题

使用粘接剂的闸门密封件至少在下述方面存在改善的余地。

(a)在苛刻的使用环境下(例如，高温环境、腐食性环境、UV(ultraviolet：紫外线)环境、等离子体环境下等)，有时在金属基材与密封件之间发生剥离。认为其原因在于，在苛刻的使用环境下，粘接剂会分解。

(b)每当改变密封件所使用的氟弹性体的种类，就需要开发/选定适当的粘接剂，这在开发成本方面是不利的。

本发明的目的在于，提供一种金属基材与氟弹性体层之间的剥离强度得以改善的层叠体以及包含该层叠体的闸门密封件。

用于解决问题的方案

本发明提供如下所示的层叠体及其制造方法、以及闸门密封件。

[1]一种层叠体，其包含：金属基材，其具有形成有阳极氧化膜的表面；氟树脂层，其与所述阳极氧化膜相接而层叠；以及氟弹性体层，其与所述氟树脂层的与所述金属基材相反一侧的表面相接而层叠。

[2]根据[1]所述的层叠体，其中，所述氟弹性体层含有交联性全氟弹性体的交联物。

[3]根据[1]或[2]所述的层叠体，其中，所述阳极氧化膜的由JIS B 0601：1994规定的算术平均粗糙度Ra为0.05～100μm。

[4]根据[1]～[3]中任一项所述的层叠体，其中，所述金属基材含有铝。

[5]一种闸门密封件，其包含[1]～[4]中任一项所述的层叠体。

[6]一种层叠体的制造方法，其包括：准备金属基材的工序，所述金属基材具有形成有阳极氧化膜的表面；在所述阳极氧化膜的表面形成氟树脂层的工序；在所述氟树脂层的与所述金属基材相反一侧的表面，形成含有交联性氟弹性体的层的工序；以及使所述含有交联性氟弹性体的层进行交联而形成氟弹性体层的工序。

[7]根据[6]所述的层叠体的制造方法，其中，形成所述氟树脂层的工序包括：在将熔融的氟树脂配置于所述阳极氧化膜的表面后进行固化的工序。

[8]根据[6]或[7]所述的层叠体的制造方法，其中，所述交联性氟弹性体为交联性全氟弹性体。

[9]根据[6]～[8]中任一项所述的层叠体的制造方法，其中，所述阳极氧化膜的由JIS B 0601：1994规定的算术平均粗糙度Ra为0.05～100μm。

[10]根据[6]～[9]中任一项所述的层叠体的制造方法，其中，所述金属基材含有铝。