[发明专利]加热管的气体泄漏检测装置以及加热管的气体泄漏检测方法

权利要求书

1.一种加热管的气体泄漏检测装置，其检测来自如下的加热管的气体泄漏，所述加热管具备收纳有加热体的内管和包围该内管而密闭的外管，并且所述加热管通过配管与压力调节机构结合，由所述压力调节机构将所述外管与所述内管之间的空间的气体压力调节为规定的压力值，其中，所述加热管的气体泄漏检测装置具有：

气体流动阻力部，其设置于所述配管，在作为气体流路的所述配管中，使气体局部性地难以流动；

压力检测单元，其在所述配管中的所述气体流动阻力部与所述加热管之间检测所述加热管的所述外管与所述内管之间的空间的气体压力；以及

泄漏判定单元，其根据由所述压力检测单元得到的检测压力值，判定所述加热管是否正在泄漏。

2.根据权利要求1所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，

所述泄漏判定单元具有压力判定单元，该压力判定单元判定由所述压力检测单元得到的检测压力值是否小于基准压力值，所述基准压力值被设定为比所述加热管中的所述外管与所述内管之间的空间的气体压力应被调节为的所述规定的压力值小的值，

所述泄漏判定单元根据所述压力判定单元的判定结果来判定所述加热管是否正在泄漏。

3.根据权利要求1所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，

所述气体流动阻力部具有形成有小通孔的部件，所述小通孔的面积小于所述配管的截面积，供气体通过。

4.根据权利要求1所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，

与从自所述压力调节机构延伸的所述配管进一步分支延伸的多个分支配管分别结合着所述加热管。

5.根据权利要求4所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，所述加热管的气体泄漏检测装置具有：

管路开闭机构，其使所述多个分支配管各自成为打开状态以及关闭状态中的任意一个状态；以及

泄漏确定单元，其在由所述泄漏判定单元判定为气体正在从多个所述加热管中的任意加热管泄漏时，根据由所述管路开闭机构设为打开状态以及关闭状态中的任意状态的所述多个分支配管的开闭状态、以及在所述多个分支配管的所述开闭状态下由所述压力检测单元得到的检测压力值来确定多个所述加热管中的气体正在泄漏的所述加热管。

6.根据权利要求1所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，

所述加热管的气体泄漏检测装置具有压力值切换控制单元，所述压力值切换控制单元在由所述压力调节机构将所述加热管的所述外管与所述内管之间的空间的气体压力调节为作为调节目标值的第1压力值的状态下由所述压力检测单元得到的检测压力值小于被设定为比所述第1压力值小的值的第1基准压力值时，将所述加热管的所述外管与所述内管之间的空间的气体压力的所述调节目标值切换为大于所述第1压力值的第2压力值。

7.根据权利要求1至5中的任一项所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，

所述加热管的气体泄漏检测装置具有如下的气体流动可变阻力部来代替所述气体流动可变阻力部：该气体流动可变阻力部设置于所述配管，在作为气体流路的所述配管中切换为以第1阻力使气体局部性地难以流动以及以小于所述第1阻力的第2阻力使气体局部性地难以流动中的任意一种情况。

8.根据权利要求7所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，

所述气体流动可变阻力部具有可动部件，所述可动部件形成有供气体通过的面积小于所述配管的截面积的第1小通孔、以及供气体通过的面积小于所述配管的截面并且大于所述第1小通孔的面积的第2小通孔，

所述气体流动可变阻力部通过移动所述可动部件而将所述第1小通孔以及所述第2小通孔中的任意一个切换配置在所述配管内。

9.根据权利要求1至6中的任一项所述的加热管的气体泄漏检测装置，其中，

所述加热管是被放入到处理液中并对所述处理液进行加热的加热管，所述处理液贮存在处理槽中，对被处理物进行处理。