[发明专利]光学系统及方法

权利要求书

1.一种光刻设备(100A、100B)的光学系统(200)，包括：

反射镜主体(206)，

操纵器装置(400)，用于定位和/或取向所述反射镜主体(206)，

光学有效表面(306、306')，用于反射辐射(108A、108B)，以及

致动器矩阵(308)，布置在所述反射镜主体(206)和所述光学有效表面(306、306')之间，并配置为使所述光学有效表面(306、306')变形以便影响其反射性质，其中使所述致动器矩阵(308)与所述反射镜主体(206)间隔开的间隙(316)配备在所述致动器矩阵(308)与所述反射镜主体(206)的前侧(214)之间，其中所述间隙的尺寸使得所述致动器矩阵的致动器永远不会与所述反射镜主体的前侧接触，以及所述致动器通电以在从所述致动器矩阵延伸至所述反射镜主体的前侧的第一方向上膨胀，并在与所述第一方向垂直的第二方向上收缩。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其中，所述反射镜主体(206)是抗挠曲刚性的，使得所述反射镜主体(206)在将其定位/或取向期间，和/或在使所述光学有效表面(306、306')变形的过程期间不会变形。

3.根据权利要求1或2所述的光学系统，其中，反射镜基板(302)布置在所述光学有效表面(306、306')与所述致动器矩阵(308)之间，所述致动器矩阵(308)固定到所述反射镜基板。

4.根据权利要求3所述的光学系统，其中，所述致动器矩阵(308)粘结或结合到所述反射镜基板。

5.根据权利要求3所述的光学系统，其中，所述反射镜主体(206)和所述反射镜基板(302)由相同的材料制成。

6.根据权利要求5所述的光学系统，其中，所述反射镜主体(206)和所述反射镜基板(302)由石英玻璃制成。

7.根据权利要求3所述的光学系统，其中，所述反射镜基板(302)固定地连接到所述反射镜主体(206)。

8.根据权利要求7所述的光学系统，其中，所述反射镜基板(302)粘结或结合到所述反射镜主体(206)。

9.根据权利要求3所述的光学系统，其中，所述致动器矩阵(308)配备在所述反射镜基板(302)的后侧(312)处，其中在所述反射镜基板(302)的前侧(310)处提供所述光学有效表面(306、306')，其中所述致动器矩阵(308)的宽度范围和长度范围大于所述光学有效表面(306、306')的宽度范围和长度范围。

10.根据权利要求9所述的光学系统，其中，所述光学有效表面(306、306')是高度反射涂层。

11.根据权利要求3所述的光学系统，其中，所述致动器矩阵(308)固定地连接到所述反射镜基板(302)的后侧(312)。

12.根据权利要求11所述的光学系统，其中，所述致动器矩阵(308)粘结或结合到所述反射镜基板(302)的后侧(312)。

13.根据权利要求3所述的光学系统，其中，借助于销型连接元件(318)，在所述致动器矩阵(308)的区域中，将所述反射镜基板(302)连接到所述反射镜主体(206)。

14.根据权利要求3所述的光学系统，其中，所述反射镜基板(302)由至少一个支撑区段(224、226)支撑在所述反射镜主体(206)上。