[发明专利]泵送单元及其用途

权利要求书

1.泵送单元(1)，它包括：

-多级的干式的初级真空泵(2)，所述初级真空泵包括串联地配装的至少四个泵送级(T1、T2、T3、T4、T5)，

其特征在于，所述泵送单元(1)包括：

-两级罗茨真空泵(3)，所述两级罗茨真空泵包括串联地配装的第一和第二泵送级(B1，B2)，所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)以与所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)串联并在待泵送气体的流的方向上位于所述初级真空泵的第一泵送级上游的方式配装，

-所述两级罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)的容积排量与所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量之比小于六，以及

-所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量与所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)的容积排量之比小于六。

2.根据前一权利要求所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述两级罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)的容积排量大于或等于3000m³/h。

3.根据权利要求1所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述两级罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)的容积排量介于3500m³/h至5000m³/h之间。

4.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量大于或等于500m³/h。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量介于500m³/h至1000m³/h之间。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述两级罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)的容积排量与所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量之比小于5.5。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量与所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)的容积排量之比小于或等于五。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)的容积排量大于或等于100m³/h。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)的容积排量介于100m³/h至400m³/h之间。

10.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)的容积排量与所述初级真空泵(2)的第二泵送级(T2)的容积排量之比小于或等于三。

11.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述两级罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)的容积排量与所述初级真空泵(2)的第三泵送级(T3)的容积排量之比小于或等于一百二十。

12.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述初级真空泵(2)包括串联地配装的至少五个泵送级(T1、T2、T3、T4、T5)。