[发明专利]伪散斑图案生成装置、伪散斑图案生成方法、观察装置和观察方法有效
申请号: | 201880023619.0 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN110494794B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 酒井宽人;安藤太郎;丰田晴义;大竹良幸;泷口优;兵土知子 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02B27/48 | 分类号: | G02B27/48;G02B21/06;G02F1/13 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 伪散斑 图案 生成 装置 方法 观察 | ||
1.一种伪散斑图案生成装置,其特征在于,包括:
输出光的光源;
第一空间光调制器,其具有基于伪随机数图案的第一强度调制分布,根据所述第一强度调制分布对从所述光源输出的光空间地进行强度调制,输出其调制后的光;
第一光学系统,其对从所述第一空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而生成该傅立叶变换图案;
第二空间光调制器,其设置在由所述第一光学系统生成所述傅立叶变换图案的面,具有基于滤波函数的第二强度调制分布,根据所述第二强度调制分布对经所述第一光学系统到达的光空间地进行强度调制,输出其调制后的光;
第二光学系统,其对从所述第二空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而在光图案生成面生成该傅立叶变换图案作为伪散斑图案;和
控制部,其对所述第一空间光调制器的所述第一强度调制分布和所述第二空间光调制器的所述第二强度调制分布这两者或其中任一者进行设定,
所述控制部基于滤波函数对所述第二空间光调制器设定所述第二强度调制分布,该滤波函数为与要生成的伪散斑图案的自相关函数相应的相关函数的傅立叶变换的平方根。
2.如权利要求1所述的伪散斑图案生成装置,其特征在于:
所述控制部基于伪随机数图案对所述第一空间光调制器设定所述第一强度调制分布,该伪随机数图案具有与要生成的伪散斑图案的光强度统计分布相应的统计分布。
3.一种伪散斑图案生成装置,其特征在于,包括:
输出光的光源;
第一空间光调制器,其具有基于伪随机数图案的第一强度调制分布,根据所述第一强度调制分布对从所述光源输出的光空间地进行强度调制,输出其调制后的光;
第一光学系统,其对从所述第一空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而生成该傅立叶变换图案;
第二空间光调制器,其设置在由所述第一光学系统生成所述傅立叶变换图案的面,具有基于滤波函数的第二强度调制分布,根据所述第二强度调制分布对经所述第一光学系统到达的光空间地进行强度调制,输出其调制后的光;
第二光学系统,其对从所述第二空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而在光图案生成面生成该傅立叶变换图案作为伪散斑图案;和
控制部,其对所述第一空间光调制器的所述第一强度调制分布和所述第二空间光调制器的所述第二强度调制分布这两者或其中任一者进行设定,
所述控制部基于伪随机数图案对所述第一空间光调制器设定所述第一强度调制分布,该伪随机数图案具有与要生成的伪散斑图案的光强度统计分布相应的统计分布。
4.一种观察装置,其特征在于,包括:
权利要求1至3中任一项所述的伪散斑图案生成装置;
观察用光源,其输出照射到由所述伪散斑图案生成装置生成所述伪散斑图案的所述光图案生成面的观察用的光;和
摄像机,其接受与所述观察用的光向所述光图案生成面的照射相应地产生的光而进行摄像。
5.一种伪散斑图案生成方法,其特征在于:
由具有基于伪随机数图案的第一强度调制分布的第一空间光调制器,根据所述第一强度调制分布对从光源输出的光空间地进行强度调制,输出其调制后的光,
由第一光学系统对从所述第一空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而生成该傅立叶变换图案,
由设置在由所述第一光学系统生成所述傅立叶变换图案的面且具有基于滤波函数的第二强度调制分布的第二空间光调制器,根据所述第二强度调制分布对经所述第一光学系统到达的光空间地进行强度调制,输出其调制后的光,
由第二光学系统对从所述第二空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而在光图案生成面生成该傅立叶变换图案作为伪散斑图案,
对所述第一空间光调制器的所述第一强度调制分布和所述第二空间光调制器的所述第二强度调制分布这两者或其中任一者进行设定,
基于滤波函数对所述第二空间光调制器设定所述第二强度调制分布,该滤波函数为与要生成的伪散斑图案的自相关函数相应的相关函数的傅立叶变换的平方根。
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