[发明专利]提供多个纳米线的装置和方法在审

专利信息
申请号: 201880023895.7 申请日: 2018-03-08
公开(公告)号: CN110730760A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: O·比勒姆;H·F·施拉克;S·克德诺;F·罗塞泰;F·达辛格;K·威克 申请(专利权)人: 耐诺维尔德有限公司;O·比勒姆
主分类号: B82Y40/00 分类号: B82Y40/00;H01M4/04
代理公司: 31266 上海一平知识产权代理有限公司 代理人: 马莉华;徐迅
地址: 德国达*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 纳米线 薄膜 电解质 电生长 贯穿孔 生长
【权利要求书】:

1.提供多个纳米线(2)的方法,其特征在于,该方法至少包括以下方法步骤:

a)将薄膜(5)放置在表面(3)上,其中所述薄膜(5)具有多个纳米线(2)可以在其中生长的贯穿孔(8),

b)将提供电解质的装置(6)放置到所述薄膜(5)上,以及

c)从所述电解质中流电生长多个纳米线(2)。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述表面(3)和所述薄膜(5)之间设置结构层(4),其中所述结构层(4)在所述表面(3)的一位置处具有至少一个缝隙(7),所述位置是将在所述表面(3)上生长纳米线(2)的位置。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述方法至少部分地通过加热来执行。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其特征在于,根据需要将所述电解质进料至所述用于提供电解质的装置(6)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述用于提供电解质的装置(6)至少间歇地压在所述薄膜(5)上。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述用于提供电解质的装置(6)以海绵状形成。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述薄膜的所述通孔(8)相对于所述表面(3)垂直地形成。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,为了使所述多个纳米线(2)进行流电生长,在要被生长覆盖的表面(3)和与紧靠所述用于提供电解质的装置(6)的电极(12)之间施加电压。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,还包括方法步骤:

d)从所述表面(3)上去除所述薄膜(5),包括包裹在所述薄膜中的多个纳米线(2),以及

e)将所述薄膜(5)施加到目标表面,其中,所述包裹在薄膜(5)中的多个纳米线(2)连接到所述目标表面。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述薄膜(5)被至少部分地溶解。

11.根据权利要求2至8中任一项所述的方法,其特征在于,所述表面(3)具有多个导电区域(19),其中,在步骤a)之前,执行以下方法步骤:

i)将导电粘合剂层施加到表面(3)上,

ii)将导电电极层(21)施加到所述粘合剂层上,

iii)将电绝缘结构层(4)施加到所述导电电极层(21)上,以及

iv)将表面(3)的所述导电区域(19)在所述纳米线(2)要在所述导电区域(19)上生长的位置处暴露,其中在导电区域(19)和导电电极层(21)之间保持导电连接,

其中,在步骤c)之后,执行以下方法步骤:

α)去除薄膜(5),

β)去除结构层(4),

γ)去除电极层(21),以及

Δ)去除导电粘合剂层。

12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,在已经执行步骤a)至c)之后去除包括生长的纳米线(2)的薄膜(5),其中随后再次执行步骤a)至c),并且其中在再次执行所述步骤a)至c)之后执行所述步骤α)至γ)。

13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,在完成所述多个纳米线(2)的生长之后,至少部分地去除所述纳米线(2)上的氧化物层。

14.根据前述权利要求中任一项所述的方法,用于LED与载体基板的电接触或热连接。

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