[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有树脂且固体成分浓度为10质量％以上，该感光化射线性或感放射线性树脂组合物中，

所述树脂包含：

以制成均聚物时的玻璃化转变温度为50℃以下的单体为来源的重复单元即重复单元A；及

具有酸分解性基的重复单元即重复单元B，

所述重复单元B的含量相对于所述树脂中的所有重复单元为20摩尔％以下，

所述树脂所具有的重复单元中的至少1种为具有芳香族环的重复单元。

2.根据权利要求1所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中

所述重复单元A的含量相对于所述树脂中的所有重复单元为5摩尔％以上。

3.根据权利要求1或2所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述重复单元A的含量相对于所述树脂中的所有重复单元为10摩尔％以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述重复单元A是以制成均聚物时的玻璃化转变温度为30℃以下的单体为来源的重复单元。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述重复单元A具有任选具有杂原子且碳原子数为2以上的非酸分解性链状烷基。

6.根据权利要求5所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述重复单元A为以下通式(1)所表示的重复单元，

通式(1)：

通式(1)中，R₁表示氢原子、卤素原子或烷基；R₂表示任选包含杂原子且碳原子数为2以上的非酸分解性链状烷基。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述重复单元A为以下通式(2)所表示的重复单元，

通式(2)：

通式(2)中，R₃表示氢原子、卤素原子或烷基；R₄表示任选包含杂原子且具有羧基或羟基的非酸分解性烷基。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述树脂除了包含所述重复单元A及所述重复单元B以外，还包含具有羧基的重复单元C。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述树脂除了包含所述重复单元A及所述重复单元B以外，还包含具有酚性羟基的重复单元D。