[发明专利]粒子检测装置和粒子检测方法

权利要求书

1.一种粒子检测装置，包括根据粒子的粒径向垂直于流体流动的方向分离粒子的粒子分离流路和以分支形式连接于所述粒子分离流路的两个以上的粒子回收流路，所述粒子检测装置的特征在于，

所述粒子回收流路具备包括光阑和电检测器的粒子检测部，

存在于各粒子回收流路中的粒子检测部的光阑的截面积互不相同，由此能够检测的粒径范围互不相同。

2.根据权利要求1所述的粒子检测装置，其特征在于，

存在于各粒子回收流路中的粒子检测部的光阑能够检测的粒径范围的一部分相互重叠。

3.根据权利要求1或2所述的粒子检测装置，其特征在于，

具有如下的流路结构：调整所述粒子回收流路的条数、分支部的形状、宽度、高度、长度中的至少一个参数，使得某固定大小以上的大小的粒子不会混入。

4.根据权利要求1或2所述的粒子检测装置，其特征在于，

所述粒子分离流路包括在一个末端处具备流体导入口的两个以上的分支流路以及该分支流路合流而形成的流路，所述粒子分离流路从至少一个分支流路的流体导入口被导入含有分离对象的粒子的流体。

5.根据权利要求1或2所述的粒子检测装置，其特征在于，

所述粒子分离流路包括具有从流体上的上游侧朝向下游侧流路的宽度或高度扩大、或者宽度和高度两方扩大的结构的粒子扩散流路或扩大流路。

6.根据权利要求1或2所述的粒子检测装置，其特征在于，

在所述粒子检测部的下游具备流体排出口，

所述电检测器的电极被设置于流体排出口。

7.根据权利要求1或2所述的粒子检测装置，其特征在于，

在所述粒子分离流路中，流路的壁由不易向外侧方向膨胀的材料构成。

8.根据权利要求1所述的粒子检测装置，其特征在于，

所述粒子分离流路包括在一个末端侧具备流体导入口且在另一个末端侧与其它分支流路合流的两个以上的分支流路、该两个以上的分支流路合流而形成的狭窄流路、以及与狭窄流路的另一个末端连接且流路宽度被扩大了的扩大流路，所述两个以上的粒子回收流路与扩大流路连接，在从一个分支流路的流体导入口导入含有分离对象的粒子的流体并从另一个分支流路的流体导入口导入不含分离对象的粒子的流体的情况下，粒子沿着狭窄流路的壁面滑流，在所述扩大流路的壁面中，向粒子滑流的壁面侧流路宽度不扩大，向没有粒子滑流的壁面侧流路宽度扩大。

9.一种粒子分离装置，其特征在于，具备根据权利要求8所述的粒子检测装置，

向没有粒子滑流的壁面侧流路宽度逐渐地扩大。

10.根据权利要求9所述的粒子分离装置，其特征在于，

向没有粒子滑流的壁面侧扩大流路的流路宽度逐渐地扩大，且在所述没有粒子滑流的壁面侧，狭窄流路壁面与扩大流路壁面之间的角度为90°以上。

11.根据权利要求10所述的粒子分离装置，其特征在于，

向没有粒子滑流的壁面侧扩大流路的流路宽度逐渐地扩大，且在所述没有粒子滑流的壁面侧，狭窄流路壁面与扩大流路壁面之间的扩大的角度为135°以上。

12.一种粒子分离装置，其特征在于，具备根据权利要求7所述的粒子检测装置，

所述材料为计示硬度40以上的材料。

13.一种使用根据权利要求1所述的粒子检测装置来检测流体中含有的粒子的方法，其特征在于，

在根据权利要求1所述的粒子检测装置中，根据粒子的粒径，向垂直于流体流动的方向分离粒子，

将分离后的粒子向两个以上的粒子回收流路分割，

通过电检测器来检测所述粒子，所述电检测器包括以夹持设置于所述粒子回收流路的光阑的方式配置的电极。