[发明专利]电连接装置

说明书

本发明提供一种电连接装置，该电连接装置包括：探针头(20)，其具有引导孔(200)，引导孔(200)的与延伸方向垂直的形状是对多边形的拐角部进行倒圆角而成的形状；以及探针(10)，其被以贯穿引导孔(200)的状态保持于探针头(20)，在探针(10)的与引导孔(200)的拐角部(200C)相对的角区域中，形成有沿着探针(10)的轴向的缺口。

技术领域

本发明涉及一种在被检查体的电特性的测量中使用的电连接装置。

背景技术

为了在未与晶圆分离的状态下对集成电路等被检查体的电特性进行测量，使用具有与被检查体相接触的探针的电连接装置。探针例如被以贯穿在探针头形成的引导孔的状态保持(例如参照专利文献1。)。

作为探针，使用与轴向垂直的截面的形状为多边形的探针。例如，在MEMS(MicroElectro Mechanical Systems：微电子机械系统)的测量中使用与轴向垂直的截面的形状为四边形的探针。在该情况下，探针头的引导孔的形状也与探针的截面的形状相应地形成为四边形。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－118064号公报

发明内容

发明要解决的问题

在形成于探针头的引导孔的形状为多边形的情况下，引导孔的拐角部通常以被倒圆角的方式形成。因此，存在探针的角区域与引导孔的拐角部的内壁面相接触导致探针磨损或破损这样的问题。

鉴于上述问题，本发明的目的在于，提供一种抑制了探针的角区域与探针头的引导孔的内壁面之间的接触所引起的探针的磨损、损伤的电连接装置。

用于解决问题的方案

采用本发明的一技术方案，提供一种电连接装置，其中，该电连接装置包括：探针头，其具有引导孔，引导孔的与延伸方向垂直的形状是对多边形的拐角部进行倒圆角而成的形状；以及探针，其被以贯穿引导孔的状态保持于探针头，在探针的与引导孔的拐角部相对的角区域中，形成有沿着探针的轴向的缺口。

发明的效果

采用本发明，能够提供一种抑制了探针的角区域与探针头的引导孔的内壁面之间的接触所引起的探针的磨损、损伤的电连接装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的电连接装置的结构的示意图。

图2是表示本发明的实施方式的电连接装置的探针的截面和探针头的引导孔的形状的示意性的俯视图。

图3是表示比较例的探针的截面和探针头的引导孔的形状的示意性的俯视图。

图4是表示本发明的实施方式的电连接装置的探针和探针头的例子的示意图。

图5是表示另一比较例的探针的截面和探针头的引导孔的形状的示意性的俯视图。

图6是用于说明本发明的实施方式的电连接装置的探针的制造方法的示意性的工序图(其一)，图6的(a)是俯视图，图6的(b)是剖视图，图6的(c)是端头区域的立体图。

图7是用于说明本发明的实施方式的电连接装置的探针的制造方法的示意性的工序图(其二)，图7的(a)是俯视图，图7的(b)是剖视图，图7的(c)是端头区域的立体图。