[发明专利]感光性树脂组合物在审
申请号: | 201880025855.6 | 申请日: | 2018-04-20 |
公开(公告)号: | CN110537146A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 星野有辉;汤川升志郎;大村浩之;畑中真 | 申请(专利权)人: | 日产化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C08F2/50;C08F220/24;C08F220/28;C08F220/30;C08F230/08;G02F1/1333;G03F7/023;G03F7/027;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22 |
代理公司: | 11247 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩;孙丽梅<国际申请>=PCT/JP |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性树脂组合物 溶剂 三烷氧基甲硅烷基 有机EL显示元件 图像 等离子体处理 液晶显示元件 固化膜表面 碱溶性树脂 聚合物 感光剂 固化膜 亲液性 亲油性 热固化 疏水性 疏液性 疏油性 基板 固化 | ||
1.一种能够热固化的感光性树脂组合物,其含有下述(A)成分、(B)成分、(C)溶剂和(D)成分,
(A)成分:具有下述基团(A1)和(A2)的聚合物,
(A1)疏液性基团团
(A2)三烷氧基甲硅烷基,
(B)成分:碱溶性树脂,
(C)溶剂,
(D)成分:感光剂。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,(A)成分为还具有下述(A3)的聚合物,
(A3):选自羟基、羧基、酰胺基和氨基中的至少1种基团。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其满足下述(Z1)~(Z4)之中的至少1个,
(Z1):还含有作为(E)成分的交联剂;
(Z2):(B)成分的碱溶性树脂还具有自交联性基团团,或还具有与选自羟基、羧基、酰胺基和氨基中的至少1种基团反应的基团;
(Z3):(D)成分为光自由基产生剂,所述感光性树脂组合物还含有具有2个以上烯属双键的化合物作为(F)成分;
(Z4):(D)成分为光产酸剂,所述感光性树脂组合物还含有下述化合物作为(G)成分,所述化合物具有2个以上与由(D)成分产生的酸形成共价键的官能团。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,(D)成分为醌重氮化合物。
5.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,(D)成分为醌重氮化合物,并且所述感光性树脂组合物满足所述(Z1)或(Z2)。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,(A)成分的所述疏液性基团团为选自碳原子数3~10的氟烷基、聚氟醚基、甲硅烷基醚基和聚硅氧烷基中的至少一种基团。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物,(A)成分的聚合物为丙烯酸系聚合物。
8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物,(A)成分的丙烯酸系聚合物的数均分子量以聚苯乙烯换算为2,000~100,000。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的感光性树脂组合物,(B)成分的碱溶性树脂的数均分子量以聚苯乙烯换算为2,000~50,000。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,相对于(B)成分100质量份,含有0.1质量份~20质量份的(A)成分。
11.根据权利要求3~10中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,相对于(A)成分与(B)成分的合计100质量份,(E)成分为1质量份~50质量份。
12.一种固化膜,其由权利要求1~11中任一项所述的感光性树脂组合物的热固化物构成。
13.一种显示元件,其具有权利要求12所述的固化膜。
14.一种显示元件,其具有权利要求12所述的固化膜作为图像形成用间壁。
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