[发明专利]用于化学机械研磨的浆料组合物有效
| 申请号： | 201880026333.8 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110536940B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 朴惠贞;李敏键;朴昌墉;朴民成;陈成勋;李玖和;朴钟大;金宰贤 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋海花 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 研磨 浆料 组合 | ||
1.一种用于化学机械研磨的浆料组合物，包含：
1)研磨剂；以及
2)研磨选择比调节剂，其为a)选自由具有磷酸盐基的环状化合物、具有磷酸盐基的无机化合物及具有磷酸盐基的金属化合物所组成的群组中的至少一种具有磷酸盐基的化合物和b)三级胺化合物的混合物，
所述研磨选择比调节剂以1:0.25至1:5的重量比包含a)具有磷酸盐基的化合物及b)三级胺化合物。
2.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述具有磷酸盐基的环状化合物为环状脂肪族化合物。
3.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述具有磷酸盐基的环状化合物为选自由肌醇单磷酸盐、肌醇二磷酸盐、肌醇三磷酸盐、肌醇四磷酸盐、肌醇五磷酸盐、肌醇六磷酸盐、葡萄糖-1-磷酸盐及葡萄糖-6-磷酸盐所组成的群组中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述具有磷酸盐基的无机化合物为选自由磷酸一铵、磷酸二铵及磷酸三铵所组成的群组中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述具有磷酸盐基的金属化合物为选自由磷酸一钠、磷酸二钠及磷酸三钠所组成的群组中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述研磨选择比调节剂用于调节氮化硅膜的研磨速度。
7.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述三级胺化合物为选自由三甲基胺、三乙基胺、三丁基胺及三丙基胺所组成的群组中的至少一种。
8.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其还包含催化剂。
9.根据权利要求8所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述催化剂以全部浆料组合物的总重量计包含0.00001至1重量％。
10.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其还包含至少一种pH调节剂。
11.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其还包含至少一种杀生剂。
12.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其还包含至少一种反应调节剂。
13.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其还包含水、乙醇或它们的混合物。
14.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其还包含至少一种氧化剂。
15.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述研磨剂以全部浆料组合物的总重量计包含0.01至10重量％。
16.根据权利要求1所述的用于化学机械研磨的浆料组合物，其中，
所述研磨选择比调节剂以全部浆料组合物的总重量计包含0.0001至10重量％。
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