[发明专利]排气的减压除害方法及其装置在审
| 申请号： | 201880027015.3 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN110582340A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 柳泽道彦;塚田勉;今村启志 | 申请（专利权）人： | 北京康肯环保设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/46;H01L21/31;H05H1/30;H05H1/32 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 100052 北京市朝阳区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气 除害 氮气 高温等离子体 分解处理 减压状态 减压 发生源 真空泵 最小化 稀释 | ||
【权利要求书】：
1.排气的减压除害方法，其特征在于，将通过真空泵从排气发生源供给的排气保持在减压状态并利用高温等离子体的热进行分解处理。
2.权利要求1所述的排气的减压除害方法，其特征在于，上述减压状态在50Torr以上且400Torr以下的范围内。
3.排气的减压除害装置，其特征在于，具备：
反应室(18)，其将通过真空泵(14)从排气发生源(12)供给的排气(E)利用高温等离子体(22)的热进行分解处理；
等离子体生成单元(20)，其向上述反应室(18)内释放上述高温等离子体(22)；和
后段真空泵(24)，其将从上述真空泵(14)的排气口至上述反应室(18)进行减压。
4.权利要求3所述的排气的减压除害装置，其特征在于，在上述等离子体生成单元(20)中设置有等离子体生成用流体供给单元(26)，该等离子体生成用流体供给单元(26)供给选自氮、氧、氩、氦或水中的至少1种作为高温等离子体生成用的流体。
5.权利要求3或4所述的排气的减压除害装置，其特征在于，在上述等离子体生成单元(20)中产生高温等离子体的方法为直流电弧放电、电感耦合或电容耦合。
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