[发明专利]用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置和方法

权利要求书

1.一种用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，包括：

反应部，收纳有液体锡（Sn）；

加热部，连接于所述反应部；以及

原料投入部，用于向所述反应部投入全氟化合物（PFC），

其中，在所述反应部中，所述全氟化合物与所述液体锡进行反应而生成氟化锡（SnF₂），

所述装置包括连接于所述反应部的测量部，所述测量部用于测量收纳在所述反应部内的液体锡的温度和所述氟化锡的重整率，

所述加热部将收纳在所述反应部内的所述液体锡先加热至预设的温度，且当所述氟化锡的重整率达到预设的目标重整率时，将所述液体锡的温度再加热至比先加热的所述预设的温度更高的所述氟化锡的沸点以上的温度。

2.根据权利要求1所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，

所述全氟化合物是六氟化硫（SF₆）。

3.根据权利要求2所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，

在所述反应部中发生的化学反应是SF₆ + 4Sn → 3SnF₂ + SnS。

4.根据权利要求1所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，

所述加热部将收纳在所述反应部内的液体锡加热至850～950摄氏度的温度。

5.根据权利要求1所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，

所述加热部将收纳在所述反应部内的所述液体锡加热至600～650摄氏度的温度，当所述氟化锡的重整率达到预设的目标重整率时，将所述液体锡加热至850～950摄氏度的温度。

6.根据权利要求1所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，

在所述反应部的内部下侧，设置有沿着所述反应部的长度方向彼此隔开的多个分配部，

所述分配部被设置成，使从所述原料投入部流入的所述全氟化合物以分散方式注入到所述反应部的内部。

7.根据权利要求1所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，

进一步包括设置在所述反应部的上部的冷凝部，

所述冷凝部用于将通过所述反应部的化学反应而生成的气态的所述氟化锡冷凝为液态或固态。

8.根据权利要求1所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置，其特征在于，

进一步包括设置在所述反应部的上部的液体锡存储部，

所述液体锡存储部向所述反应部供给所述液体锡。

9.一种用于减少全氟化合物并生成氟化锡的方法，其特征在于，包括如下步骤：

a）向反应部供给液体锡；

b）将收纳在所述反应部内的所述液体锡加热至预设的温度；

c）向被加热的所述液体锡投入全氟化合物以进行反应；以及

d）冷凝由所述液体锡与所述全氟化合物反应而生成的氟化锡，

在所述步骤c）中，测量所述氟化锡的重整率，当所述氟化锡的重整率达到目标重整率时，将所述液体锡的温度再加热至比先加热的所述预设的温度更高的所述氟化锡的沸点以上的温度。

10.根据权利要求9所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的方法，其特征在于，

在所述步骤b）中，将所述液体锡加热至850～950摄氏度的温度。

11.根据权利要求9所述的用于减少全氟化合物并生成氟化锡的方法，其特征在于，

在所述步骤b）中，将所述液体锡加热至600～650摄氏度的温度。