[发明专利]抗紫外线石英玻璃及其制造方法有效
| 申请号： | 201880027858.3 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110612274B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 堀越秀春 | 申请（专利权）人： | 东曹石英素材股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03C3/06;G02B1/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外线 石英玻璃 及其 制造 方法 | ||
1.一种抗紫外线石英玻璃的制造方法，
该抗紫外线石英玻璃用于YAG激光的四倍高次谐波或五倍高次谐波光学元件，
所述抗紫外线石英玻璃的制造方法包括对二氧化硅粉末进行电弧等离子体熔融而得到抗紫外线性能为5000秒以上的抗紫外线石英玻璃，该抗紫外线性能即对紫外线的抗性定义为：将以YAG激光功率180mW、脉宽20nsec、频率80kHz的照射条件照射YAG激光的266nm的四倍高次谐波时的光程30mm下的初始透射率为100％而直至透射率降低3％为止的照射时间。
2.根据权利要求1所述的抗紫外线石英玻璃的制造方法，其中，
二氧化硅粉末是合成二氧化硅粉末或者天然石英粉末。
3.根据权利要求1或2所述的抗紫外线石英玻璃的制造方法，其中，
石英玻璃的OH基浓度小于100ppm。
4.一种YAG激光的四倍高次谐波或五倍高次谐波光学元件，
其由抗紫外线性能为5000秒以上的抗紫外线石英玻璃构成，
该抗紫外线性能即对紫外线的抗性定义为：将以YAG激光功率180mW、脉宽20nsec、频率80kHz的照射条件照射YAG激光的266nm的四倍高次谐波时的光程30mm下的初始透射率为100％而直至透射率降低3％为止的照射时间。
5.根据权利要求4所述的YAG激光的四倍高次谐波或五倍高次谐波光学元件，其中，
所述抗紫外线性能为6000秒以上。
6.根据权利要求4或5所述的YAG激光的四倍高次谐波或五倍高次谐波光学元件，其中，
石英玻璃的OH基浓度小于100ppm。
7.根据权利要求4或5所述的YAG激光的四倍高次谐波或五倍高次谐波光学元件，其中，
石英玻璃实质上不含有氟元素。
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