[发明专利]透射电子显微镜样品对齐系统和方法

权利要求书

1.一种用于对透射电子显微镜对齐样品的方法，包括：

将电子束施加到样品；

利用所施加的电子束获得样品的图像；

基于劳厄圆自动确定样品相对于样品的区域轴的两轴定向，所述劳厄圆是根据图像中的反射分布确定的；

基于所确定的劳厄圆确定两轴倾斜角的调整；以及

基于所确定的定向自动调整样品的定向，使其与样品的区域轴对齐。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，确定倾斜角的调整还包括：

确定电子束到样品的路径与连接劳厄圆的中心和埃瓦耳德球的中心的第一线之间的角度。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：

将所确定的角度分解成第一轴分量和第二轴分量。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，将所确定的角度分解成第一轴分量和第二轴分量包括：

确定从劳厄圆的中心到第一轴上的点的第一向量，其垂直于α倾斜轴；

将第一轴分量确定为第一线与连接第一轴上的点到埃瓦耳德球的中心的第二线之间的角度；以及

将第二轴分量确定为第二线与对应于电子束到样品的路径的第三线之间的角度。

5.根据权利要求3所述的方法，其中，将所确定的角度分解成第一轴分量和第二轴分量包括：

确定从劳厄圆的中心到第一轴上的点的第一向量，其垂直于α倾斜轴；

将第一轴分量确定为第一线与连接第一轴上的点到埃瓦耳德球的中心的第二线之间的角度；以及

将第二轴分量确定为所确定的角度和第一轴分量之间的差。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，在自动调整定向之后，所述方法包括：

将电子束施加到样品；并且

利用所施加的电子束获得样品的另一图像。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括：

接收请求样品的区域轴对齐的操作者的输入，其中，响应于接收到操作者的输入而自动执行所述方法。

8.一种用于对透射电子显微镜对齐样品的系统，包括：

电子枪；

样品支架；

成像检测器；

定位控制器，其耦接到样品支架并配置为调整样品在样品支架中的定向；以及

处理器，其通信地耦接到电子枪、样品支架、成像检测器和定位控制器，

其中，处理器基于自动计算的所成像的样品的劳厄圆执行指令来控制样品支架，其中，所述处理器执行指令来控制电子枪、样品支架、成像检测器和定位控制器以执行如下操作：

将来自电子枪的电子束施加到样品；

利用所施加的电子束从成像检测器获得样品的图像；

基于所述图像、基于自动计算的劳厄圆自动确定样品相对于样品的区域轴的两轴定向，所述劳厄圆是根据图像中的反射分布确定的；以及

基于所确定的定向经由样品支架自动调整样品的定向，以与样品的区域轴对齐，其中，所述处理器配置为通过以下方式控制样品在样品支架中的定向：

使用样品的图像中的反射分布，基于所计算的劳厄圆确定两轴倾斜角的调整。

9.根据权利要求8所述的系统，其中，所述处理器配置为通过以下方式确定所述两轴倾斜角的调整：

确定来自电子枪的电子束到样品的路径与连接劳厄圆的中心和埃瓦耳德球的中心的第一线之间的角度。

10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述处理器配置为：

将所确定的角度分解成第一轴分量和第二轴分量。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述处理器配置为通过以下步骤将所确定的角度分解成第一轴分量和第二轴分量：

确定从劳厄圆的中心到第一轴上的点的第一向量，其垂直于α倾斜轴；

将第一轴分量确定为第一线与连接第一轴上的点到埃瓦耳德球的中心的第二线之间的角度；以及

将第二轴分量确定为第二线与对应于电子束到样品的路径的第三线之间的角度。