[发明专利]用于测量振动的投射系统

权利要求书

1.一种用于通过数字全息技术来测量机械部件（M）的表面（VSURF）的振动的系统（SYS），所述系统包括：

辐射（L）源，所述辐射源在预定的频率范围（LF）中发射，

第一分离元件（EL1），所述第一分离元件被配置成限定第一入射光线（LB1）和参考光线（RLB），

成形模块（DOEM），所述成形模块被配置成从所述第一入射光线（LB1）产生第二入射光线（LB2），

光学元件（OE），所述光学元件被配置成使所述参考光线（RLB）和由所述第二入射光线（LB2）在所述机械部件（M）的所述表面（VSURF）上的反射产生的辐射（LB2’）进行干涉，以及

照相机（FCAM），所述照相机被配置成记录以所述参考光线（RLB）和由所述反射产生的所述辐射（LB2’）的相干相加（ADDLB）的形式的数字全息图，

所述成形模块（DOEM）包括一个或多个衍射光学元件（DOE1、...、DOEn），所述一个或多个衍射光学元件中的每一个包括至少一个衍射结构（FSTRUCT），所述至少一个衍射结构被配置成衍射所述第一入射光线（LB1）的全部或部分，

其中，所述至少一个衍射结构由靠在玻璃基底上的聚合物、溶胶-凝胶或感光树脂材料制成，所述至少一个衍射结构包括在平行于和/或正交于所述玻璃基底的平面中蚀刻的元件，

其中，所述元件的尺寸范围从100纳米至100微米。