[发明专利]光学显微镜及提供结构化照明光的方法

权利要求书

1.一种光学显微镜，包括：

-结构化光学单元，用于从入射光提供结构化照明，该结构化光学单元包括具有复数个输入端(31、41、51)的波导芯片(90)；

-输入选择设备(8)，用于将光可变地指向到输入端(31、41、51)的其中之一；

-波导芯片(90)，还包括跟随每个输入端(31、41、51)的光导路径(32、42、52)，其中每个光导路径(32、42、52)分为多个路径分支(34、35、36；44、45、46；54、55、56)并且每个路径分支(34、35、36；44、45、46；54、55、56)引向波导芯片的一输出端(37、38、39、47、48、49、57、58、59)；

其特征在于，

来自输出端(37、38、39、47、48、49、57、58、59)的光的出射方向(75)垂直于由波导芯片(90)定义的平面(P)，其中

平面(P)被定义为被光导路径(32、42、52)和路径分支(34、35、36；44、45、46；54、55、56)的方向所横跨；

路径分支(34、35、36；44、45、46；54、55、56)形成为，属于不同输入端(31、41)的路径分支(34、35、36；44、45、46；54、55、56)中的至少一些路径分支(36、46)相交；且

相交的路径分支(36、46)以70°和120°之间的角度相交。

2.如权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，

光导路径(32、42、52)和路径分支(34、35、36；44、45、46；54、55、56)在光学显微镜的光瞳平面中或平行于光瞳平面延伸。

3.如权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，

波导芯片(90)的每个输出端(37、38、39、47、48、49、57、58、59)包括接口(71)，用于通过全内反射将光偏转出波导芯片(90)。

4.如权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，

波导芯片(90)的每个输出端(37、38、39、47、48、49、57、58、59)包括接口(71)，用于将光偏转出波导芯片(90)，其中该接口(71)包括镜子。

5.如权利要求3或4所述的光学显微镜，其特征在于，

每个接口(71)相对于波导芯片(90)的平面(P)成20°至70°之间的角度。

6.如权利要求3或4所述的光学显微镜，其特征在于，

接口(71)由波导芯片(90)上的凹陷形成。

7.如权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，

属于同一输入端(31)的波导芯片(90)的输出端(37、38、39)形成点图案，且点图案彼此相似，但彼此相对旋转。

8.如权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，

还包括输入偏振单元，配置为将光偏振为，当入射到波导芯片(90)的输入端(31、41、51)时，其偏振方向在波导芯片(90)的平面(P)中。

9.如权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，

还包括输出偏振单元(25)，来自波导芯片(90)的输出端(37、38、39、47、48、49、57、58、59)的光入射在其上，

输出偏振单元(25)配置为将入射光的偏振方向旋转90°，输出偏振单元(25)包括两个连续设置并相对于彼此旋转45°的半波片。

10.如权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，

波导芯片(90)的每个输出端(37、38、39、47、48、49、57、58、59)包括设置在波导芯片(90)的基底(70)处的两个镜子，

镜子配置为将入射光的偏振方向旋转90°。