[发明专利]光电子半导体芯片和用于制造光电子半导体芯片的方法在审
申请号: | 201880029625.7 | 申请日: | 2018-05-02 |
公开(公告)号: | CN110603653A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 伊瓦尔·通林;克里斯蒂安·莱雷尔 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/64;H01L33/48;H01L33/00 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张春水;丁永凡 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体层序列 半导体芯片 冷却元件 光电子半导体芯片 接触元件 电磁辐射 含硅氧烷 电接触 可穿透 热导率 转换层 衬底 源层 发射 辐射 生长 | ||
1.一种光电子半导体芯片(100),包括:
-半导体层序列(1),所述半导体层序列具有用于产生电磁辐射的有源层(10);
-在所述半导体层序列(1)的背侧(12)上的两个接触元件(21,22);
-在所述半导体层序列(1)的与所述背侧(12)相对置的前侧(11)上的辐射可穿透的冷却元件(3);
-在所述冷却元件(3)和所述半导体层序列(1)之间的含硅氧烷的转换层(4),
其中
-所述接触元件(21,22)设置用于电接触所述半导体芯片(100)并且在所述半导体芯片(1)的未安装状态下露出,
-所述冷却元件(3)与所述半导体层序列(1)的生长衬底不同,
-所述冷却元件(3)具有至少0.7W/(m·K)的热导率。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片(100),
其中所述冷却元件(3)包括玻璃或由玻璃构成。
3.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其中
-所述冷却元件(3)是自承的,
-所述冷却元件(3)的厚度为至少250μm。
4.根据权利要求3所述的半导体芯片(100),
其中在所述半导体层序列(1)的背侧(12)和所述接触元件(21,22)在未安装状态下露出的侧之间的间距为最高5μm。
5.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其中
-在所述半导体层序列(1)的背侧(12)上设置有载体(5)。
6.根据权利要求5所述的半导体芯片(100),
其中所述冷却元件(3)的厚度为最高100μm。
7.根据权利要求1至3和5至6中任一项所述的半导体芯片(100),
其中所述接触元件(21,22)具有至少100μm的厚度。
8.根据上述权利要求中任一项所述的半导体芯片(100),
其中所述冷却元件(3)形成所述半导体芯片(1)的辐射出射面。
9.根据上述权利要求中任一项所述的半导体芯片(100),
其中所述转换层(4)包括硅树脂基质连同在其中嵌入的转换颗粒,或者由硅树脂基质连同在其中嵌入的转换颗粒构成。
10.根据上述权利要求中任一项所述的半导体芯片(100),
其中在所述转换层(4)和所述冷却元件(3)之间设置有辐射可穿透的粘结层(41)。
11.根据权利要求1至9中任一项所述的半导体芯片(100),
其中所述转换层(4)与所述冷却元件(3)直接接触。
12.根据上述权利要求中任一项所述的半导体芯片(100),
其中所述半导体层序列(1)在前侧(11)上是结构化的。
13.根据上述权利要求中任一项所述的半导体芯片(100),
其中所述接触元件(21,22)侧向地部分地或完全地由囊封件(23)包围。
14.根据上述权利要求中任一项所述的半导体芯片(100),
其中所述冷却元件(3)具有一个或多个功能层。
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