[发明专利]微型泵系统和处理技术

说明书

公开了一种无阀微型泵配置，其包括多个微型泵元件，每个微型泵元件包括具有分隔的泵室的泵体，多个通畅的入口端口和出口端口，以及设置在泵室中以提供隔室的多个膜片。膜片锚定在泵体的相对的壁之间，并承载设置在膜片的相对表面和泵体的壁上的电极。

优先权要求

本申请根据35U.S.C.§119(e)要求于2017年3月13日提交的标题为：“Micro PumpSystems and Processing Techniques”的临时美国专利申请62/470,460的优先权，临时美国专利申请的全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本说明书涉及基于微型的系统，尤其涉及微型泵系统/装置。

背景技术

机械泵系统和压缩机系统是众所周知的。泵用于通过机械作用来移动流体(例如，液体、气体或浆液)。可以根据用于移动流体的方法对泵进行分类，例如，直接提升泵、排量泵、蠕动泵和重力泵。微型泵现在也是已知的。微型泵的一个示例在本人于2015年2月26日提交的已公开申请US-2015-0267695-A1中进行了描述，该申请的全部内容通过引用并入本文。在上述已公开申请中还公开了制造这种微型泵的技术。本人的已公开申请US-2016-0131126-A1(于2016年5月12日公开，于2015年10月29日提交)中还公开了其他微型泵示例、示例性应用和微机电系统(MEMS)制造技术，包括辊对辊(roll to roll)工艺，该已公开申请的全部内容通过引用并入本文。

发明内容

描述了蠕动微型泵系统。制造这种蠕动微型泵系统的示例性技术包括使用光刻蚀刻和图案化技术以及辊对辊制造技术。

所描述的蠕动微型泵系统是通过级联(cascade)连接各个微型泵单元来提供的。这些单元不包括内部、固定的入口和出口阀构件/结构，例如以上申请中公开的那些。通过以相位序列操作各个微型泵单元，该操作可以有效地提供入口和出口隔离功能，从而无需固定的内部入口阀结构和出口阀结构。

根据一个方面，一种微型泵包括多个微型泵元件，每个微型泵元件包括泵体、多个膜片和多个电极，所述泵体具有壁、多个入口端口以及多个出口端口，所述壁包围泵室，所述泵室被分隔成多个隔室，所述多个入口端口各自使流体通畅地流入多个隔室中的对应隔室，所述多个出口端口各自使流体通畅地流出多个隔室中的对应隔室，所述多个膜片设置在泵室中，其中所述多个膜片固定至泵体的壁，且其将室分隔以提供多个隔室，所述多个电极中的第一对设置在泵体的一对相对的壁上，且所述多个电极中的其余的电极中的每一个设置在多个膜片中的对应膜片的主表面上，其中多个微型泵元件以串联连接配置布置，所述串联连接配置使所述微型泵元件中的第一个微型泵元件的出口与多个微型泵元件中的紧邻的微型泵元件的入口流体连接。

其他方面包括制造方法和使用方法。

在下文的附图和描述中阐述了本发明的一个或多个实施例的细节。本发明的其他特征、目的和优点从说明书和附图以及权利要求中显而易见。

附图说明

图1是无阀微型泵元件的组装截面图。

图1A和1B是图1的微型泵元件的截面图(略有简化)，示出了膜片致动。

图1C是图1A的一部分的放大图。

图1D和1E是微型泵元件的替代配置的截面图，其具有用于泵隔室的锥形侧壁，且示出了膜片致动。

图1F是图1D的一部分的放大图。

图2是示例性“无阀”微型泵的截面图，其包括处于串联级联连接布置的多个无阀微型泵元件。

图2A是“无阀”微型泵的替代配置的截面图。

图3是提供微型泵元件的模块层的堆叠体的透视局部图。