[发明专利]薄板状衬底保持指状件以及具有该指状件的运送机器人

权利要求书

1.一种薄板状衬底保持指状件，该薄板状衬底保持指状件保持薄板状衬底，对上述薄板状衬底的被处理面喷射不活泼气体，上述薄板状衬底以被处理面朝上的状态装载于能密闭的容器的货架板上，其特征在于，该薄板状衬底保持指状件包括：

指状件本体，在该指状件本体的内部形成仅用于使上述不活泼气体流通的流路，从清洗部向上述薄板状衬底的被处理面喷射不活泼气体，该清洗部与上述薄板状衬底尺寸相同或更大；

管部件，该管部件使不活泼气体供给源与上述流路连通；

喷射口，该喷射口配置在上述清洗部，与上述流路连通，设置于上述指状件本体中的与上述薄板状衬底的被处理面面对的面上，用于将上述不活泼气体喷射到上述薄板状衬底的上述被处理面上；

抵接部件，该抵接部件设置于上述指状件本体中的形成上述喷射口的面上，该抵接部件与上述薄板状衬底的周缘部抵接；

夹持部件，该夹持部件以相对上述薄板状衬底可进退移动的方式设置；

夹持机构，该夹持机构使上述夹持部件进退移动，

上述抵接部件与上述夹持部件根据上述夹持机构的动作，持握上述薄板状衬底的周缘部，

从上述喷射口喷射的上述不活泼气体充满下述空间，向该空间的外部流出，该空间为，上述薄板状衬底保持指状件与上述薄板状衬底保持指状件所保持的上述薄板状衬底的上述被处理面之间所形成的空间。

2.根据权利要求1所述的薄板状衬底保持指状件，其特征在于，上述指状件本体与上述抵接部件的竖直方向的尺寸小于货架板的竖直方向的间距尺寸，该货架板装载有，接纳有上述薄板状衬底的容器中所形成的上述薄板状衬底。

3.根据权利要求1或2所述的薄板状衬底保持指状件，其特征在于，在上述指状件本体上形成清洗部，该清洗部对上述薄板状衬底喷射上述不活泼气体；

上述清洗部为圆盘状的形状，其直径与上述薄板状衬底基本相同。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的薄板状衬底保持指状件，其特征在于，在上述指状件本体的上述流路和上述喷射口之间设置过滤器。

5.根据权利要求3或4所述的薄板状衬底保持指状件，其特征在于，在上述清洗部的周围设置屏蔽部件，该屏蔽部件覆盖形成于上述清洗部与上述薄板状衬底之间的空间，从上述薄板状衬底的周缘部朝向下方而排出充满于上述空间中的上述不活泼气体。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的薄板状衬底保持指状件，其特征在于，上述喷射口朝向被保持衬底的外侧倾斜而设置。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的薄板状衬底保持指状件，其特征在于，上述喷射口还设置于上述抵接部件上；

上述流路还与形成于上述抵接部件上的上述喷射口连通。

8.一种薄板状衬底运送机器人，其特征在于，

在臂体的前端设置至少1个权利要求1～7中任一项所述的薄板状衬底保持指状件；

该薄板状衬底运送机器人包括：

臂体驱动机构，该臂体驱动机构在水平面内使上述臂体动作；

升降机构，该升降机构在竖直方向使上述臂体进行升降移动。

9.根据权利要求8所述的薄板状衬底运送机器人，其特征在于，其还包括蓄压器。

10.一种薄板状衬底运送设备，其特征在于，该薄板状衬底运送设备包括：

运送空间，在该运送空间中设置权利要求8或9所述的薄板状衬底运送机器人；

运送空间形成部件，该运送空间形成部件形成上述运送空间；

盖开闭器，该盖开闭器固定于上述运送空间形成部件上，将接纳上述薄板状衬底的密闭容器装载于规定的位置，使盖开闭，该盖以气密方式闭锁上述密闭容器；

FFU，该FFU设置于上述运送空间形成部件的上部，将清洁的空气作为下降气流而供向上述运送空间；

在上述运送空间的底面上开设有，从上述FFU供给的上述清洁的空气的排出口。