[发明专利]处理工件的方法以及研磨腐蚀机

权利要求书

1.一种处理工件(14)的方法，所述工件在研磨腐蚀机(10)中使用组合的研磨腐蚀工具(12)待处理，包括以下步骤:

-使用组合的研磨腐蚀工具(12)来腐蚀工件(14)，其中相对于标称尺寸保留额外余量，

-使用组合的研磨腐蚀工具(12)来研磨工件(14)，以消除腐蚀后存在的额外余量，并使工件(14)的实际尺寸与标称尺寸一致。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，在腐蚀工件(14)之后和研磨工件(14)之前使用整修工具(23)整修研磨腐蚀工具(12)。

3.根据权利要求2所述的方法，

其特征在于，所述整修工具(23)是腐蚀工具，并且整修通过火花腐蚀来实现。

4.根据权利要求2或3所述的方法，

其特征在于，所述研磨腐蚀工具(12)的整修在与通过研磨腐蚀工具(12)腐蚀和研磨工件(14)相同的夹持中进行。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，所述工件(14)在一次夹持中被处理。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，所述工件(14)的研磨在一个或多个道次中进行，并且在多个道次的情况下，在每个道次期间，在腐蚀之后存在的额外余量的一部分被移除。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，所述研磨腐蚀工具(12)的外部尺寸是在工件(14)上的研磨工作之前和/或期间确定的。

8.根据权利要求7所述的方法，

其特征在于，所述研磨腐蚀工具(12)的外部尺寸是在工件(14)上的研磨工作期间根据研磨腐蚀工具(12)和/或工件(14)上的电测量值来确定的。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，所述工件(14)在用研磨腐蚀工具(13)处理之前，在预处理程序期间通过附加的处理工具进行预处理。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，在研磨工作期间，通过研磨腐蚀工具(12)同时在工件(14)执行腐蚀工作。

11.根据权利要求10所述的方法，

其特征在于，所述研磨腐蚀工具(12)具有分布在其外周上的非导电区域(36)。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，腐蚀电压的极性能够在研磨腐蚀工具(12)与工件(14)之间反转。

13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，所述研磨腐蚀工具(12)包括导电基质(31)，磨粒(32)嵌入所述导电基质中。

14.研磨腐蚀机(10)，具有：

控制设备(20)，

组合的研磨腐蚀工具(12)，

由所述控制设备(20)控制的轴线布置(11)，用于定位和移动研磨腐蚀工具(12)和/或待处理的工件(14)，

其中所述控制设备(20)适于执行根据前述权利要求中任一项所述的方法。