[发明专利]具有凹凸部的压力传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种压力传感器，是感测垂直方向的压力的压力传感器，其特征在于：

包括第一压力传感器部及第二压力传感器部，

所述第一压力传感器部及所述第二压力传感器部层叠，所述第一压力传感器部的上面及所述第二压力传感器部的下面形成有凹凸部。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：

所述第一压力传感器部及所述第二压力传感器部的压力弹性系数及每单位面积内导电粒子的量中的至少一个互异。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：

形成于所述第一压力传感器部的上面的凹凸部包括至少一个第一凸出区域及至少一个第一凹陷区域，形成于所述第二压力传感器部的下面的凹凸部包括至少一个第二凸出区域及至少一个第二凹陷区域。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于：

所述至少一个第一凸出区域分别插入到对应的所述至少一个第二凹陷区域，所述至少一个第二凸出区域分别插入到对应的所述至少一个第一凹陷区域。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于：

所述至少一个第一凸出区域及所述至少一个第二凸出区域分别具有不同的尺寸。

6.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：

所述第二压力传感器部的压力弹性系数小于所述第一压力传感器部的压力弹性系数，所述第二压力传感器部的所述每单位面积内导电粒子的量大于所述第一压力传感器部的所述每单位面积内导电粒子的量。

7.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：

所述第一压力传感器部及所述第二压力传感器部分别为导电橡胶材质。

8.一种压力传感器，是感测垂直方向的压力的压力传感器，其特征在于：

包括层叠成N(3以上的整数)个以上的层的N个压力传感器部，

所述N个压力传感器部中最下层的压力传感器部的上面、最上层的压力传感器部的下面及除所述最下层的压力传感器部及所述最上层的压力传感器部以外的其余压力传感器部的上面及下面形成有凹凸部。

9.根据权利要求8所述的压力传感器，其特征在于：

所述N个压力传感器部中各压力传感器部的压力弹性系数互异，层叠顺序以压力弹性系数的大小为基准确定，所述多个压力传感器部从所述N个压力传感器部的压力弹性系数大的顺序层叠。

10.一种压力传感器的制造方法，是感测垂直方向的压力的压力传感器的制造方法，其特征在于，包括：

在多个压力传感器部的上面及下面中至少一个面形成凹凸部的步骤；以及

层叠形成有所述凹凸部的多个压力传感器部的步骤，

其中，所述凹凸部包括凸出区域及凹陷区域，所述多个压力传感器部中压力传感器部A及压力传感器部B邻接，所述压力传感器部A的凸出区域插入到对应的所述压力传感器部B的凹陷区域，所述压力传感器部B的凸出区域插入到对应的所述压力传感器部A的凹陷区域。