[发明专利]用于生产含碳化硅结构的方法、组合物和设备在审
申请号: | 201880031447.1 | 申请日: | 2018-05-09 |
公开(公告)号: | CN110740982A | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 西格蒙德·格罗伊利希-韦伯;鲁迪格·施莱歇-塔佩瑟尔 | 申请(专利权)人: | PSC科技股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/565 | 分类号: | C04B35/565;C04B35/571;B33Y70/10;B29C64/135 |
代理公司: | 11467 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 | 代理人: | 乔献丽 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳化硅 液体组合物 制造 生产 | ||
1. 一种特别是通过增材制造来制造含碳化硅的结构的方法,
其特征在于
(a)在第一方法步骤中,施加含碳和含硅的溶液或分散体、特别是SiC前体溶胶,优选含碳和硅的液体、尤其是SiC前体溶胶的层至基体,和
(b)在第一方法步骤(a)之后的第二方法步骤中,将含碳和含硅的溶液或分散体,优选地将含碳和含硅的溶液或分散体的层,特别是至少在某些区域中,通过能量的作用转化为含碳化硅的化合物,从而产生含碳化硅的结构的一部分,特别是一层,
其中重复方法步骤(a)和(b),直到获得含碳化硅的结构。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述含碳化硅的化合物选自碳化硅、非化学计量的碳化硅、掺杂的碳化硅和碳化硅合金。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,将所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶,以0.1至250μm,特别是0.2至100μm,优选0.5至50μm,更优选1至25μm范围的层厚施加到所述基体上。
4.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,通过涂覆方法将所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶,施加到所述基体上。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述涂覆方法选自旋转涂覆、浸涂、喷涂和印刷方法,特别是喷墨印刷。
6.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是前体溶胶,在整个表面上或局部地,特别是区域选择性地施加到所述基体上。
7.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,至少在某些区域中,通过能量的作用将所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶加热至1600至2100℃,特别是1700至2000℃,优选为1700至1900℃的温度范围。
8.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,在第二方法步骤(b)中,通过电磁辐射,特别是通过激光辐射来实现能量的作用。
9.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,所述能量的作用,特别是通过电磁辐射的方式,是局部受限的,特别是区域选择性的。
10.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶,根据布鲁克菲尔德在25℃下具有的动态粘度为3至500mPas,特别是4至200mPas,优选5至100mPas。
11.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,在方法步骤(a)中使用几种不同的含碳和含硅的溶液或分散体,特别是SiC前体溶胶。
12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,在方法步骤(a)中,使用不同的散布装置,特别是喷嘴,将不同的含碳和含硅的溶液或分散体,特别是SiC前体溶胶,施加至基体。
13.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,至少方法步骤(b)在保护性气体气氛,特别是惰性气体气氛中进行。
14. 含碳化硅的结构,可通过根据权利要求1至13任一项所述的方法获得。
15.组合物,特别是SiC前体溶胶,以溶液或分散体的形式,包含
(A)至少一种含硅化合物,
(B)至少一种含碳化合物,
(C)至少一种溶剂或分散剂; 和
(D)任选地,掺杂和/或合金试剂。
16.根据权利要求15所述的组合物,其特征在于,所述溶剂或分散剂选自水和有机溶剂及其混合物,优选其混合物。
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