[发明专利]用于生产含碳化硅结构的方法、组合物和设备在审

专利信息
申请号: 201880031447.1 申请日: 2018-05-09
公开(公告)号: CN110740982A 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 西格蒙德·格罗伊利希-韦伯;鲁迪格·施莱歇-塔佩瑟尔 申请(专利权)人: PSC科技股份有限公司
主分类号: C04B35/565 分类号: C04B35/565;C04B35/571;B33Y70/10;B29C64/135
代理公司: 11467 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 代理人: 乔献丽
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 碳化硅 液体组合物 制造 生产
【权利要求书】:

1. 一种特别是通过增材制造来制造含碳化硅的结构的方法,

其特征在于

(a)在第一方法步骤中,施加含碳和含硅的溶液或分散体、特别是SiC前体溶胶,优选含碳和硅的液体、尤其是SiC前体溶胶的层至基体,和

(b)在第一方法步骤(a)之后的第二方法步骤中,将含碳和含硅的溶液或分散体,优选地将含碳和含硅的溶液或分散体的层,特别是至少在某些区域中,通过能量的作用转化为含碳化硅的化合物,从而产生含碳化硅的结构的一部分,特别是一层,

其中重复方法步骤(a)和(b),直到获得含碳化硅的结构。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述含碳化硅的化合物选自碳化硅、非化学计量的碳化硅、掺杂的碳化硅和碳化硅合金。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,将所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶,以0.1至250μm,特别是0.2至100μm,优选0.5至50μm,更优选1至25μm范围的层厚施加到所述基体上。

4.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,通过涂覆方法将所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶,施加到所述基体上。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述涂覆方法选自旋转涂覆、浸涂、喷涂和印刷方法,特别是喷墨印刷。

6.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是前体溶胶,在整个表面上或局部地,特别是区域选择性地施加到所述基体上。

7.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,至少在某些区域中,通过能量的作用将所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶加热至1600至2100℃,特别是1700至2000℃,优选为1700至1900℃的温度范围。

8.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,在第二方法步骤(b)中,通过电磁辐射,特别是通过激光辐射来实现能量的作用。

9.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,所述能量的作用,特别是通过电磁辐射的方式,是局部受限的,特别是区域选择性的。

10.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,所述含碳和含硅的溶液或分散体,特别是所述SiC前体溶胶,根据布鲁克菲尔德在25℃下具有的动态粘度为3至500mPas,特别是4至200mPas,优选5至100mPas。

11.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,在方法步骤(a)中使用几种不同的含碳和含硅的溶液或分散体,特别是SiC前体溶胶。

12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,在方法步骤(a)中,使用不同的散布装置,特别是喷嘴,将不同的含碳和含硅的溶液或分散体,特别是SiC前体溶胶,施加至基体。

13.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,至少方法步骤(b)在保护性气体气氛,特别是惰性气体气氛中进行。

14. 含碳化硅的结构,可通过根据权利要求1至13任一项所述的方法获得。

15.组合物,特别是SiC前体溶胶,以溶液或分散体的形式,包含

(A)至少一种含硅化合物,

(B)至少一种含碳化合物,

(C)至少一种溶剂或分散剂; 和

(D)任选地,掺杂和/或合金试剂。

16.根据权利要求15所述的组合物,其特征在于,所述溶剂或分散剂选自水和有机溶剂及其混合物,优选其混合物。

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