[发明专利]自混合干涉颗粒检测期间抑制假阳性信号的方法

权利要求书

1.一种测量流体中尺寸小于20μm、优选小于10μm的颗粒(10)的颗粒密度的方法，所述方法包括以下步骤：

向镜子(160)发射激光束(112)，

借助于镜子(160)以预先确定的周期性运动改向激光束(112)，

借助于光学成像装置(171)将激光束(112)聚焦到检测区，

如果自混合干涉信号是由激光束(112)的由颗粒(10)中的至少一个反射的激光生成的，则确定激光器的激光腔内的光波的自混合干涉信号，

如果自混合干涉信号是由激光束(112)的光路中的干扰引起的，则抑制对颗粒检测来说的假自混合干涉信号，其中，在周期性运动期间，在镜子(160)的限定的角度范围内抑制由光路中的干扰引起的假自混合信号。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，对假自混合干涉信号的抑制基于镜子(160)的周期性运动。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

基于由激光束(112)的由颗粒(10)反射的激光生成的自混合干涉信号的第一频率范围，抑制由光路中的干扰引起的假自混合信号。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法包括以下步骤：

基于在镜子(160)的周期性运动期间确定的自混合干涉信号的特性来确定限定的角度范围。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述自混合干涉信号的特性由频率特性给出。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，自混合干涉信号随时间变化的频率特性是自混合干涉信号的开始时的高频率和低幅度信号，随后是自混合干涉信号的较低频率和较高幅度以及自混合干涉信号的结束时的低幅度信号，其中，限定的角度范围是由自混合干涉信号的开始和结束确定的。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

如果自混合干涉信号超过限定的阈值持续时间，则抑制由光路中的干扰引起的假自混合信号。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

基于由激光束(112)的由颗粒(10)反射的激光生成的自混合干涉信号的信号强度来抑制由光路中的干扰引起的假自混合信号。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

通过确定镜子(160)的周期性运动的一个周期内的多个离散时间段的背景噪声并基于相应时间段的背景噪声为相应的时间段调整检测阈值，来抑制由光路中的干扰引起的假自混合信号。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，用于相应的时间周期的检测阈值包括相应的频率范围。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，光路中的干扰是由激光中的一部分在光学成像装置(171)的元件处的反射引起的，所述方法包括以下步骤：

在镜子(160)的周期性运动的子周期中抑制假自混合干涉信号，其中，所述子周期的特征在于，激光中的在光学成像装置(171)的元件处反射的部分被反射回激光器的激光腔中。