[发明专利]用于产生非热的大气压等离子体的设备和用于压电变压器的频率调节的方法有效
申请号: | 201880031899.X | 申请日: | 2018-03-14 |
公开(公告)号: | CN110603903B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | M.魏尔古尼;S.内特沙伊姆 | 申请(专利权)人: | TDK电子股份有限公司;雷莱昂等离子有限责任公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24;H01L41/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 孙云汉;刘春元 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 产生 大气压 等离子体 设备 压电 变压器 频率 调节 方法 | ||
1.一种用于产生非热的大气压等离子体的设备,
所述设备具有:
压电变压器(1);
操控电路(11),所述操控电路被设计为:将具有操控频率的交变电压作为输入电压施加到所述压电变压器(1)上;和
场探头(15),所述场探头被设计为:测量由所述压电变压器(1)产生的电场的场强,
其中,所述操控电路(11)被设计为:在考虑所述场探头(15)的测量结果的情况下使所述操控频率适配,使得所述场强最大化,
其中在所述场探头和所述压电变压器之间布置有间隙,
其中,所述操控电路被设计为:将所述操控频率从初始操控频率f0出发逐步地提高或者减小步幅Δf1,直到出现其中对于所述步幅Δf1来说出现最大场强的操控频率,并且紧接着从所述操控频率出发,将所述操控频率逐步地提高或者减小步幅Δf2,直到出现其中对于所述步幅Δf2来说出现所述最大场强的操控频率,其中,Δf2小于Δf1。
2.根据权利要求1所述的设备,
其中,所述压电变压器(1)具有输入区域(1),所述输入电压能施加到所述输入区域上,而且
其中,所述压电变压器(1)具有输出区域(3),当所述输入电压施加到所述输入区域(2)上时,在所述输出区域中产生高压,其中,通过所述高压来点燃等离子体。
3.根据权利要求2所述的设备,
其中,所述场探头(15)邻近所述输出区域(3)地布置。
4.根据上述权利要求中任一项所述的设备,
其中,所述场探头(15)与测量单元(16)连接,所述测量单元被设计为:确定所述场强的峰值和/或所述场强的平均值,其中,所述操控电路(11)具有调节器(13),所述调节器被设计为:根据所确定的峰值和/或所确定的平均值来改变所述操控频率。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的设备,
其中,所述场探头(15)集成到电路板(20)中。
6.根据权利要求5所述的设备,
其中,所述电路板(20)具有金属涂层(23,24),所述金属涂层布置在所述电路板(20)的指向离开所述压电变压器(1)的一侧。
7.根据权利要求5所述的设备,
其中,所述电路板(20)是多层的,而且所述场探头(15)由所述电路板(20)的内层构成。
8.根据权利要求1-3中任一项所述的设备,
其中,所述交变电压具有矩形信号或者三角形信号。
9.根据权利要求1-3中任一项所述的设备,
其中,所述操控电路(11)被设计为:在接通所述设备时在考虑所述场探头(15)的测量结果的情况下使所述操控频率适配,使得所述场强最大化,而且
其中,所述操控电路(11)被设计为:在所述设备正在运行时以固定的时间间隔在考虑所述场探头(15)的测量结果的情况下进行所述操控频率的校正,其中,所述操控频率重新被适配,使得所述场强最大化。
10.根据权利要求1-3中任一项所述的设备,
所述设备用于产生受激的分子、离子或者基团。
11.根据权利要求1-3中任一项所述的设备,
所述设备用于产生羟基和/或氮氧化物和/或臭氧。
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