[发明专利]切割油组合物

说明书

本发明涉及切割油组合物，用于提供一种分层、分散性、粘度、锯切后晶锭清洗时间、锯切后晶片弯曲程度相比于以往切割油组合物显著优异的切割油组合物，本发明的切割油组合物首先是高度氢化处理的以化学式1至化学式3表示的矿物油和增粘剂为膨润土(Bentonite clay)、分散剂为甘油三油酸酯(Glycerine trioleate)的切割油组合物，且涉及利用这种切割油组合物进行切割的方法。

技术领域

本发明涉及在线锯(wiresaw)切割工序期间使用的切割油组合物。本发明尤其涉及一种包含高度氢化处理的烃蒸馏液、增粘剂及分散剂的线锯切割油组合物。

背景技术

线锯切割是为了制造在集成电路及光电池产业中使用的薄晶片而对晶锭(ingot)进行切片的主要方法。

并且，该方法也是在将其他物质的基板，例如蓝宝石、碳化硅或陶瓷基板制造成晶片方面通常使用的方法。

线锯典型地具有微细金属线的网(web)或线网(wireweb)，其中个别线具有约0.15mm的直径，通过一系列的线轴(spool)、皮带轮及线导，在0.1至1.0mm距离内彼此平行地排列。切割是通过将基板等工件与已采用切割油组合物的移动线接触而实现的。

在通常的线锯切割过程中，利用一种组合物，所述组合物是在包含矿物油、增粘剂、分散剂等的切割油组合物中，大致按1:1重量比率混合由诸如碳化硅颗粒的硬质物质形成的研磨剂颗粒而制造的。

切割油组合物是提供润滑及冷却，且通过将研磨剂保持在线上而使得研磨剂可以与被切割的工件接触的液体。

为了使得切割油发挥最佳性能，需要润滑性与粘性的适当均衡。当润滑性过大时，微细研磨颗粒无法附着于加工件而滑落，从而切割能力减小，如果润滑性不足，则各个微细研磨颗粒无法发挥充分的切割能力。

作为切割油组合物，可以为非水性物质，例如矿物油、煤油、聚乙二醇、聚丙二醇或其他聚亚烷基二醇，亲水性物质也可以在线锯切割工序中使用。

发明内容

要解决的问题

本发明涉及在线锯(wiresaw)切割工序期间使用的切割油组合物。就现有切割油组合物而言，往往具有分层的缺点，或分散性下降，或表现出粘度过低或过高的缺点，或具有锯切(sawing)后晶锭清洗时间过长的缺点，或表现出锯切后晶片弯曲程度大的缺点。

即，在以往的切割油组合物的情况下，当综合评价分层、分散性、粘度、锯切后清洗时间、锯切后晶片弯曲程度时，这些特性中的一种以上特性不良，从而属于不适合的切割油组合物。

本发明可以提供一种切割油组合物，就所述切割油组合物而言，在评价关于分层、分散性、粘度、锯切后清洗时间、锯切后晶片弯曲程度的所有特性时，不仅一种以上的特性不会不良，而且综合评价这些特性时，与以往的切割油组合物相比，所有特性显著优异。

解决问题的手段

本发明是为了达到所述目的而完成的，本发明中，首先，发明了以下述化学式1表示的高度氢化处理的烃，然后，在以化学式1至化学式3表示的高度氢化处理的烃中混合增粘剂及分散剂，从而发明了具有分层、分散性、粘度、锯切后晶锭清洗时间、锯切后晶片弯曲程度综合性地显著优异的特性的切割油组合物。

根据一个体现例的本发明的切割油组合物，首先包含作为高度氢化处理的以下述化学式1至化学式3表示的烃的矿物油。

[化学式1]

R1-(CnH2n-4)a-R2

[化学式2]

R3-(CnH2n-2)b-R4

[化学式3]

R5-(CnH2n)c-R6