[发明专利]静电电容式高度传感器以及使用其的激光加工喷嘴、激光加工装置

权利要求书

1.一种静电电容式高度传感器，具有：

传感器电极，被安装于激光加工喷嘴的前端；

信号处理部，向所述传感器电极提供电压信号，并且对来自所述传感器电极的信号进行检测来测量所述传感器电极的前端与电连接于接地的被加工物的距离；和

电缆，将所述传感器电极与所述信号处理部电连接，其中，

所述信号处理部具有：断线判定部，在来自所述传感器电极的信号为规定的值以上时，判定为所述电缆处于断线。

2.根据权利要求1所述的静电电容式高度传感器，其中，

所述规定的值处于如下的范围：所述传感器电极的前端与所述被加工物的距离是比激光加工时的最大距离大的规定距离时的来自所述传感器电极的信号的值以上、且所述信号处理部未连接所述电缆时的来自所述传感器电极的信号的值以下。

3.一种激光加工喷嘴，具备：

第1喷嘴，与权利要求1或者2所述的静电电容式高度传感器的所述传感器电极电连接，对激光的出射路径以及激光加工时被提供的辅助气体的流路进行划定；和

第2喷嘴，被设置为空出间隔地包围所述第1喷嘴的外周，通过绝缘部件而与所述第1喷嘴以及所述传感器电极电绝缘。

4.根据权利要求3所述的激光加工喷嘴，其中，

所述第1喷嘴与所述第2喷嘴构成为相同电位。

5.根据权利要求3或者4所述的激光加工喷嘴，其中，

所述激光加工喷嘴还具备对所述传感器电极施加一定的静电电容的构造。

6.一种激光加工装置，具有：

激光源，出射激光；

光纤，对所述激光进行导波；

将被所述光纤导波的激光向被加工物照射的权利要求3至5的任意一项所述的激光加工喷嘴；

机器人臂，在前端安装所述激光加工喷嘴，使所述激光加工喷嘴移动；和

控制部，对所述激光源以及所述机器人臂的动作进行控制，

所述控制部具有：

机器人控制部，提供使所述机器人臂的关节轴驱动或者停止的信号，以使得所述激光加工喷嘴的前端描绘规定的轨迹；和

激光控制部，在由所述断线判定部判定为所述电缆处于断线时，使所述激光源的激光振荡停止，

所述机器人控制部具有：位置控制部，基于由所述静电电容式高度传感器测量出的距离，控制所述激光加工喷嘴的位置，以使得所述传感器电极的前端与所述被加工物的距离为目标值。