[发明专利]滤波器控制式导出方法、光测量系统、法布里-帕罗干涉滤波器的控制方法及滤波器控制程序

权利要求书

1.一种滤波器控制式导出方法，其特征在于，

具备：

准备步骤，其准备通过在施加电压时在固定镜部与可动镜部之间产生的静电力与产生于所述可动镜部的弹性力平衡，而控制所述固定镜部与所述可动镜部之间的距离的法布里-帕罗干涉滤波器；

第1导出步骤，其关于准备的所述法布里-帕罗干涉滤波器，通过在规定的环境温度下实施规定的测量，而导出所述可动镜部的弹性指标作为将所述可动镜部的挠曲量设为变量的2次以上的多项式记述的所述挠曲量与所述弹性指标的关系式；及

第2导出步骤，其基于所述挠曲量与所述弹性指标的所述关系式、以及所述静电力与所述弹性力的关系式，将透过所述法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长与所述电压的关系式作为滤波器控制式导出，

在所述第1导出步骤中，作为所述规定的测量，在作为所述电压施加互不相同的多个电压的各个的状态下，测量透过所述法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长。

2.如权利要求1所述的滤波器控制式导出方法，其特征在于，

还具备：第3导出步骤，其关于与准备的所述法布里-帕罗干涉滤波器对应的其他的法布里-帕罗干涉滤波器，通过在包含所述规定的环境温度且互不相同的多个环境温度的各个的温度下实施所述规定的测量，而导出将所述挠曲量及环境温度的变化量设为变量的修正项，

在所述第2导出步骤中，以包含所述修正项的方式，将所述透过波长与所述电压的所述关系式作为所述滤波器控制式导出。

3.如权利要求1所述的滤波器控制式导出方法，其特征在于，

在所述第1导出步骤中，关于准备的所述法布里-帕罗干涉滤波器，通过在包含所述规定的环境温度且互不相同的多个环境温度的各个的温度下实施所述规定的测量，而导出将所述挠曲量及环境温度的变化量作为变量的修正项，

在所述第2导出步骤中，以包含所述修正项的方式，将所述透过波长与所述电压的所述关系式作为所述滤波器控制式导出。

4.一种光测量系统，其特征在于，

具备：

法布里-帕罗干涉滤波器，其通过在施加电压时在固定镜部与可动镜部之间产生的静电力与产生于所述可动镜部的弹性力平衡，而控制所述固定镜部与所述可动镜部之间的距离；及

控制装置，其基于包含作为将所述可动镜部的挠曲量设为变量的2次以上的多项式记述的所述可动镜部的弹性指标的所述静电力与所述弹性力的关系式，而控制所述电压。

5.一种法布里-帕罗干涉滤波器的控制方法，其特征在于，

是在法布里-帕罗干涉滤波器中控制电压的控制方法，所述法布里-帕罗干涉滤波器通过在施加所述电压时在固定镜部与可动镜部之间产生的静电力与产生于所述可动镜部的弹性力平衡，而控制所述固定镜部与所述可动镜部之间的距离，

所述法布里-帕罗干涉滤波器的控制方法具备：

导出步骤，其基于包含作为将所述可动镜部的挠曲量设为变量的2次以上的多项式记述的所述可动镜部的弹性指标的所述静电力与所述弹性力的关系式，而导出与透过所述法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长对应的电压；及

设定步骤，其将导出的所述电压设定为施加的所述电压。

6.一种存储媒体，其特征在于，

是包含用于在法布里-帕罗干涉滤波器中使计算机执行控制电压的处理的滤波器控制程序的存储媒体，所述法布里-帕罗干涉滤波器通过在施加所述电压时在固定镜部与可动镜部之间产生的静电力与产生于所述可动镜部的弹性力平衡，而控制所述固定镜部与所述可动镜部之间的距离，

所述滤波器控制程序使所述计算机作为如下构件而发挥功能：

电压导出部，其基于包含作为将所述可动镜部的挠曲量设为变量的2次以上的多项式记述的所述可动镜部的弹性指标的所述静电力与所述弹性力的关系式，而导出与透过所述法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长对应的电压；及

电压设定部，其将导出的所述电压设定为施加的所述电压。