[发明专利]处理装置、处理方法和程序

权利要求书

1.一种处理装置，包括：

第一确定单元，所述第一确定单元基于第一传感器的检测数据来确定对象装置是正常还是异常，并输出表示正常、异常或不确定的确定结果；以及

第二确定单元，在所述确定结果表示不确定的情况下，所述第二确定单元启动第二传感器并基于所述第二传感器的检测数据确定所述对象装置是正常还是异常，

其中，在所述第一确定单元不确定是正常还是异常的情况下，所述第一确定单元输出表示不确定的确定结果。

2.根据权利要求1所述的处理装置，还包括：

登记单元，所述登记单元将无法确定数据存储在存储单元中，所述无法确定数据是无法用来确定正常还是异常的、所述第一传感器的所述检测数据和所述第二传感器的所述检测数据。

3.根据权利要求2所述的处理装置，

其中所述登记单元将所述无法确定数据与检测到所述无法确定数据时的日期和时间相关联地存储在所述存储单元中。

4.根据权利要求2或3所述的处理装置，

其中所述登记单元将所述无法确定数据与检测到所述无法确定数据时所述对象装置正在处理的产品的加工条件相关联地存储在所述存储单元中。

5.根据权利要求2或3所述的处理装置，

其中所述登记单元将所述无法确定数据与检测到所述无法确定数据时所述对象装置的环境相关联地存储在所述存储单元中。

6.根据权利要求2或3所述的处理装置，

其中所述登记单元将所述无法确定数据与检测到所述无法确定数据时所述对象装置正在处理的产品的识别信息相关联地存储在所述存储单元中。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的处理装置，还包括：

控制单元，所述控制单元控制所述对象装置的操作。

8.根据权利要求7所述的处理装置，

其中在基于所述第一传感器的所述检测数据或所述第二传感器的所述检测数据确定所述对象装置异常的情况下，所述控制单元向所述对象装置发送用于停止操作的控制信号。

9.根据权利要求7所述的处理装置，

其中在基于所述第二传感器的所述检测数据无法确定正常还是异常的情况下，所述控制单元向所述对象装置发送用于停止操作的控制信号。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的处理装置，

其中所述第一传感器和所述第二传感器检测振动或声音，并且

所述第二传感器具有比所述第一传感器窄的检测带宽。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的处理装置，

其中所述第一传感器检测振动或声音，并且

所述第二传感器是检测除振动或声音以外的数据的传感器。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的处理装置，

其中所述第一传感器具有比所述第二传感器小的功耗。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的处理装置，

其中所述对象装置是加工装置。

14.一种由计算机执行的处理方法，所述方法包括：

第一确定步骤，基于第一传感器的检测数据来确定对象装置是正常还是异常，并输出表示正常、异常或不确定的确定结果；以及

第二确定步骤，在所述确定结果表示不确定的情况下，启动第二传感器并基于所述第二传感器的检测数据确定所述对象装置是正常还是异常，

其中，在所述第一确定步骤不确定是正常还是异常的情况下，所述第一确定步骤输出表示不确定的确定结果。

15.一种存储程序的计算机存储介质，所述程序使得计算机用作：

第一确定单元，所述第一确定单元基于第一传感器的检测数据来确定对象装置是正常还是异常，并输出表示正常、异常或不确定的确定结果，以及

第二确定单元，在所述确定结果表示不确定的情况下，所述第二确定单元启动第二传感器并基于所述第二传感器的检测数据确定所述对象装置是正常还是异常，

其中，在所述第一确定单元不确定是正常还是异常的情况下，所述第一确定单元输出表示不确定的确定结果。