[发明专利]线圈激励式压力传感器

说明书

压力传感器包括：腔室，所述腔室包括传导性部分和联接到传导性部分的可变形部分，并且可变形部分易于响应于腔室的内部与腔室的外部之间的压力差而变形；响应于AC线圈驱动信号的至少一个线圈；至少一个磁场感测元件，其邻近所述至少一个线圈且邻近所述腔室的传导性部分设置，并配置成响应于由所述至少一个线圈生成并被所述传导性部分反射的反射磁场生成磁场信号；以及电路，电路联接到所述至少一个磁场感测元件，以响应于所述磁场信号生成压力传感器的输出信号，输出信号指示腔室的内部与腔室的外部之间的压力差。

领域

本申请涉及压力感测，且更具体地，涉及通过检测反射磁场来感测压力。

背景

磁场传感器常被用来检测铁磁性目标。它们通常充当用于检测目标运动或位置的传感器。这样的传感器在包括机器人、汽车、制造等的许多技术领域中十分常见。例如，磁场传感器可用于检测车轮何时锁死、触发车辆的控制处理器接合防抱死制动系统。在该示例中，磁场传感器可以检测车轮的旋转。磁场传感器还可以检测至物体的距离。例如，磁场传感器可用于检测液压活塞的位置。

发明内容

在实施例中，压力传感器包括：腔室，所述腔室包括传导性部分和联接到传导性部分的可变形部分，并且所述可变形部分易于响应于所述腔室的内部与所述腔室的外部之间的压力差而变形；至少一个线圈，所述至少一个线圈响应于AC线圈驱动信号；至少一个磁场感测元件，所述至少一个磁场感测元件邻近所述至少一个线圈且邻近所述腔室的所述传导性部分设置，并且所述至少一个磁场感测元件配置成响应于由所述至少一个线圈生成且被所述传导性部分反射的反射磁场而生成磁场信号；以及电路，所述电路联接到所述至少一个磁场感测元件，以响应于所述磁场信号生成压力传感器的输出信号，所述输出信号指示所述腔室的内部与所述腔室的外部之间的压力差。

可包括以下特征中的一项或多项。

所述腔室可包括细长管。

所述传导性部分和可变形部分可包括邻近所述至少一个磁场感测元件在所述管的第一端处设置的膜。

所述膜可包括不锈钢、铜铍、钛合金和蓝宝石中的一种或多种。

所述至少一个磁场感测元件可包括至少两个间隔开的磁场感测元件，其中，所述电路配置成检测所述传导性部分与所述磁场感测元件中的第一者之间的第一距离同所述传导性部分与所述磁场感测元件中的第二者之间的第二距离之间的差，从而生成压力传感器的输出信号。

所述磁场感测元件中的所述第一者可与所述膜的边缘大致对齐，并且所述磁场感测元件中的所述第二者与所述膜的中心区域大致对齐。

所述至少一个磁场感测元件可包括通过第一基片支撑的第一磁场感测元件和通过第二基片支撑的第二磁场感测元件。

所述可变形部分可包括所述细长管的侧壁部分，所述细长管的侧壁部分配置成响应于所述压力差而伸长。

所述传导性部分可包括所述细长管的与所述至少一个磁场感测元件相邻的端部。

所述细长管可包括第一细长管，并且所述压力传感器还包括第二细长管，所述第一细长管被设置在所述第二细长管中。

可包括基片，其中，所述基片包括第一基片，并且所述压力传感器还包括第二基片，所述第二基片具有第一表面和第二相反的表面，在所述第一表面中形成凹部。传导性材料可设置在所述第二基片的凹部中，其中，所述第一基片和第二基片附连，第二基片的第一表面邻近所述第一基片使得，所述腔室包括第二基片的凹部，并且所述传导性部分包括所述传导性材料。

所述腔室可被维持在预定的基准压力。

所述凹部可以是蚀刻的凹部。

所述传导性材料可包括铜或铝。