[发明专利]投射镜头、投射曝光设备和投射曝光方法

权利要求书

1.一种折射投射镜头(PO)，所述折射投射镜头(PO)通过汞蒸气灯(LS)的电磁辐射将布置在所述投射镜头的物平面(OS)中的图案成像到所述投射镜头的像平面(IS)中，所述折射投射镜头(PO)包括：

多个透镜元件，所述多个透镜元件沿光轴(AX)布置在所述物平面(OS)和所述像平面(IS)之间，并且实施为使布置在所述物平面中的图案(PAT)借助于所述透镜元件以缩小的成像比例可成像到所述像平面中，其中

所述透镜元件包括由具有相对较低阿贝数的第一材料构成的第一透镜元件和由具有相对于所述第一材料更高阿贝数的第二材料构成的第二透镜元件，并且所述投射镜头排他地包括以下透镜元件组：

第一透镜元件组(LG1)，所述第一透镜元件组(LG1)在所述物平面(OS)之后，具有正折射能力；

第二透镜元件组(LG2)，所述第二透镜元件组(LG2)在所述第一透镜元件组(LG1)之后，具有负折射能力，以用于在所述物平面和所述像平面之间的最小边缘光线高度的区域周围产生束腰；

第三透镜元件组(LG3)，所述第三透镜元件组(LG3)在所述第二透镜元件组与适合于附接孔径光阑(AS)的光阑位置(BP)之间、在所述第二透镜元件组(LG2)之后，具有正折射能力；以及

第四透镜元件组(LG4)，所述第四透镜元件组(LG4)在所述光阑位置(BP)和所述像平面之间，具有正折射能力，

其中，将所述第一透镜元件和所述第二透镜元件组合，使得对于所述汞蒸气灯的至少两个发射线的波长范围同时校正成像像差，以及

其中将所述第一透镜元件和所述第二透镜元件组合，使得对于所述汞蒸气灯(LS)在约365nm、约405nm和约436nm处的三个发射线的波长范围同时校正成像像差。

2.根据权利要求1所述的投射镜头，其中所述投射镜头的像侧数值孔径NA在0.3≤NA≤0.6的范围内，和/或其中所述成像比例为1：4或更小，和/或其中针对具有21mm或更高的像高度的有效像场校正所述投射镜头。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的投射镜头，其中在所述光阑位置(BP)周围存在光阑区域(BB)，其中条件CRH/MRH＜0.3适用于成像的主光线高度CRH和边缘光线高度MRH之间的比率，其中在所述光阑区域(BB)内布置具有由第二材料构成的正透镜元件和由第一材料构成的负透镜元件的多个正负双合透镜。

4.根据权利要求3所述的投射镜头，其中在所述光阑区域(BB)内布置三个、四个或五个正负双合透镜，其各具有由第二材料构成的正透镜元件和由第一材料构成的负透镜元件。

5.根据权利要求3所述的投射镜头，其中在所述光阑区域(BB)内的一个，几个或所有的正负双合透镜中，所述第二材料是氟化钙(CaF₂)或具有异常部分色散的任何其他材料。

6.根据权利要求3所述的投射镜头，其中在所述光阑区域(BB)中的至少一个正负双合透镜中，所述负透镜元件由具有异常部分色散的第一材料构成。

7.根据权利要求3所述的投射镜头，其中在所述光阑区域(BB)中的至少一个正负双合透镜中，所述正透镜元件由氟化钙构成，并且所述负透镜元件由熔融石英构成。

8.根据权利要求3所述的投射镜头，其中相对于所述光阑区域(BB)内的光阑位置(BP)，存在正负双合透镜的不对称分布，其中优选地所述第四透镜元件组(LG4)内的多个正负双合透镜的数目大于所述第三透镜元件组(LG3)内的正负双合透镜的数目。

9.根据权利要求1或2所述的投射镜头，其中由第一材料构成的正透镜元件(L25、L26、L27)在低边缘光线高度的区域中布置在所述像平面(IS)附近的所述第四透镜元件组(LG4)中。

10.根据权利要求9所述的投射镜头，其中所述正透镜元件(L25、L26、L27)具有凸形弯曲的入射表面和凹形出射表面。