[发明专利]基板收纳容器有效
| 申请号： | 201880035045.9 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN110709981B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 小川统 | 申请（专利权）人： | 信越聚合物股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B65D85/30;F16J15/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姜越;王秀辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 收纳 容器 | ||
1.一种基板收纳容器，其特征在于具备：
容器主体，其收纳基板；以及
盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及
环状的密封件，其被设置在所述容器主体与所述盖体之间；
其中，所述容器主体形成有与所述密封件接触的密封面；
所述盖体形成有安装所述密封件的安装槽；
所述密封件由嵌入所述安装槽的主体部和从所述主体部延伸出的延伸片形成；
其中，所述延伸片具有在所述盖体的封闭方向上向所述盖体侧突出的突起部，以及位于比所述突起部靠近前端的密封部；
所述延伸片随着从所述主体部离开而朝向所述盖体倾斜，以便在所述主体部安装于所述安装槽时，所述突起部被按压而接触于所述盖体，
所述密封部以其前端部向所述密封面侧且向所述主体部侧延伸的方式以J字状反转，从而与所述密封面接触，
所述密封部的前端部以在朝向所述主体部的方向上比所述延伸片短地反转的方式向所述主体部侧延伸。
2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
从所述盖体的封闭方向观察，所述密封面和所述密封部的接触位置与所述突起部重合，或者比所述突起部更朝外侧离开。
3.如权利要求1或者2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述延伸片的与所述容器主体相对的一面随着从所述主体部朝向所述突起部而接近所述盖体。
4.如权利要求1至3的任意一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述主体部在所述延伸片侧的所述容器主体侧或所述盖体侧的至少一侧具有平坦的表面，能够将所述密封件压入所述安装槽。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
