[发明专利]检查系统以及检查方式

说明书

提供一种检查用照明装置，即使因被检查对象的特征点产生的光的变化微小，也能够在该整个视野范围内判定该光的变化量，并能够以相同条件检测出该特征点。所述检查用照明装置(100)具备面光源(1)，在所述面光源(1)和所述检查对象(W)之间，在与检查对象(W)接近一侧配置透镜(2)，以使遮光罩(M1)以及滤光器单元(F1)的至少任意一个位于以该透镜的焦点位置为中心的位置，使从所述面光源(1)放射的光被所述透镜(2)向所述检查对象(W)照射时的照射立体角，具备具有特定的光属性且以光轴为中心以放射状配置的立体角区域，与在被检查对象的特征点产生的变化配合，使所述检查光的照射立体角的形状和大小以及倾斜角、和所述照射立体角内的具有特定的光属性的立体角区域，能够在该整个视野范围内大致均匀地进行设定。

技术领域

本发明涉及一种用于例如向检查对象照射检查光，检查该产品的外观、划痕、以及缺陷等的检查用照明装置、以及检查系统，以及检查方式。

背景技术

作为用于产品的外观检查等的检查用照明装置，如专利文献1所示，能够大致均匀地控制并照射对检查对象的照射立体角的形状和角度、以及该光属性不同的立体角区域。

但是，谋求如下事例：能够根据拍摄的图像，检测出较难利用如上所述的检查用照明装置检测出来的缺陷等的特征点。更加具体地，作为检查对象的产品的表面性质不是完全的镜面，因此为了获取检查对象面的特征点中的期望的浓淡信息，较难精密地控制光轴、照射立体角的形状等，即使能够照射检查光，特征点根据处于检查对象的哪个位置其明暗差发生巨大变化，较难判定特征点。而且，即使为镜面，在该特征点的伴随极其微小的倾斜、呈现为立体形状的物体表面中，从其特征信息能够获取的光的变化量极其微小，从如上的面所能获取的图像的明暗差也极其微小，较难判定特征点。

对于如此的事例，例如，能够考虑到如下事例：设定适合物体的各点的照射立体角，以使利用从物体返回的物体光的立体角和、观察该物体光的成像光学系统在物体的各点形成的观察立体角之间的包含关系的变化，来能够特定待抽出的特征点的变化。

但是，通过这种方法而在从各点返回的物体光的浓淡中，即使能够实现在特征点中的变化，在其他位置也存在相同的浓淡信息，有着无法特定其到底是否是期望的特征点的情况。

更加具体地，因检查对象上的微小的缺陷，从物体的各点发射的物体光的光轴的变化是各式各样的，难以仅将其特定方向的特定倾斜的特征点作为其浓淡信息抽出来。因为，反映了照射立体角的形状等的物体光的立体角、和观察该形状的立体角的包含关系，终究只能作为包含于该包含部分的光能的总量的变化被检测，因此，首先对于均匀的照射立体角，根据该包含关系的浓淡信息仅由光轴的倾斜变化来产生，因此在该光轴的倾斜的所有方向，若倾斜角相等则成为相同的浓淡差，从而无法识别，即使照射立体角具有各向异性，对该方向能够获取浓淡差，但在其他方向无法获取浓淡差，因此针对无法特定详细的立体形状则无法抽出特征点的情况下，很难产生仅在该特征点中特有的浓淡差。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开第5866586号

发明内容

发明要解决的问题

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种检查用照明装置、以及检查系统、以及检查方式，在缺陷等的特征点为复杂的立体结构中，即使是在该特征点产生的反射、散射的变化重叠而无法与其他噪音分离的情况下，在检查对象的拍摄范围的各点中，即使该特征点位于视野内的任意处，也能够使在拍摄装置的观察立体角内的光量仅变化一定量，进而能够详细检测出如此微小且不具有大的特征信息的特征点。

用于解决问题的方案