[发明专利]用于产生高折射率波导的方法

说明书

本文描述的实施方式整体涉及一种波导和一种产生波导的方法。在一个实施方式中，本文公开了一种形成波导的方法。形成反转母衬底，所述反转母衬底具有从所述反转母衬底延伸的多个凸起。在所述反转母衬底的顶表面上形成高折射率材料。在所述高折射率材料的顶表面上设置玻璃层。从所述高折射率材料移除所述反转母衬底。

背景

领域

本公开内容的实施方式整体涉及用于图案化衬底的方法和设备。更具体地，本公开内容的实施方式涉及一种用于图案化衬底的产生波导的方法。

背景技术

光刻术广泛地用来制造半导体器件和显示装置，诸如制造液晶显示器(LCD)。通常使用大面积衬底来制造LCD。LCD、或平板常用于有源矩阵显示器，诸如计算机、触摸面板装置、个人数字助理(PDA)、手机、电视监视器和类似物。一般来说，平板可以包括形成夹在两个板之间的像素的液晶材料的层。当跨液晶材料施加来自电源的功率时，可以在像素位置处控制通过液晶材料的光量，从而使得能够生成图像。

通过物理接触进行的图案转移是一种用来图案化衬底(包括大面积衬底)的技术。形成波导，并且然后将波导物理地施加到衬底。波导允许光进出光学玻璃/材料。

如前所述，存在对用于在衬底上产生精确并且有成本效益的图案的改善的技术的持续需求。

发明内容

本文描述的实施方式整体涉及一种波导和一种产生波导的方法。在一个实施方式中，本文公开了一种形成波导的方法。形成反转母衬底，所述反转母衬底具有从所述反转母衬底延伸的多个凸起。在所述反转母衬底的顶表面上形成高折射率材料。在所述高折射率材料的顶表面上设置玻璃层。从所述高折射率材料选择性地移除所述反转母衬底。

在另一个实施方式中，本文公开了一种形成波导的方法。形成反转子衬底，所述反转子衬底具有从所述反转子衬底延伸的多个凸起的图案。形成所述反转子衬底包括形成反转母衬底，所述反转母衬底具有从所述反转母衬底延伸的多个凸起的图案。所述反转母版(master)的图案与所述反转子衬底的图案大体上等同。在所述反转子衬底的顶表面上形成高折射率材料。在所述高折射率材料的顶表面上设置玻璃层。从所述高折射率材料选择性地移除所述反转子衬底。

在另一个实施方式中，本文公开了一种波导。所述波导包括玻璃层和材料。所述玻璃层具有至少1.4的折射率。所述材料形成在所述玻璃层的顶表面上。所述材料具有至少1.5的折射率。而且所述材料具有在所述材料中蚀刻的图案。

附图详细说明

为了能够详细地理解本发明的上述特征的方式，可以通过参考实施方式得到以上简要概述的本发明的更特定的描述，其中一些实施方式在附图中示出。然而，应当注意，附图仅示出本发明的典型的实施方式，并且因此不视为对本发明的范围的限制，因为本发明可以允许其他等效实施方式。

图1示出根据一个实施方式的形成波导的方法。

图2A至图2E示出根据一个实施方式的处于图1的方法的不同阶段的波导的侧视横截面图。

图3示出根据一个实施方式的形成波导的方法。

图4A至图4I示出根据一个实施方式的处于图3的方法的不同阶段的波导的侧视横截面图。

为了便于理解，已经尽可能使用相同的参考数字标示各图共有的相同元件。设想的是，一个实施方式的要素和特征可以有利地并入其他实施方式，而不进一步叙述。

然而，应当注意，附图仅示出本发明的示例性实施方式，并且因此不视为对本发明的范围的限制，因为本发明可以允许其他等效实施方式。

具体实施方式