[发明专利]移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法以及移动体的驱动方法

权利要求书

1.一种移动体装置，包括：

第一移动体，能够在规定方向移动；

第二移动体，设置成所述第一移动体能够相对移动，且能够朝向所述规定方向移动；

底座，支撑所述第二移动体；

致动器单元，包括第一致动器及第二致动器，使所述第一移动体及所述第二移动体关于所述规定方向相对于所述底座而相对驱动，所述第一致动器将使所述第二移动体相对于所述底座在所述规定方向上相对移动的推力设为第一推力而赋予至所述第一移动体，所述第二致动器将所述推力设为大于所述第一推力的第二推力而赋予至所述第一移动体；以及

控制系统，对所述第一致动器及所述第二致动器进行控制，基于使所述第一移动体及所述第二移动体相对于所述底座相对移动时所要求的推力，对所述第一致动器及所述第二致动器中至少任一个致动器进行控制。

2.根据权利要求1所述的移动体装置，其中

所述致动器单元将使所述第二移动体加减速移动的推力经由所述第二致动器赋予至所述第一移动体。

3.根据权利要求1或2所述的移动体装置，其中

所述第一致动器在通过所述致动器单元而使所述第一移动体及所述第二移动体相对于所述底座相对移动时，使所述第一移动体相对于所述第二移动体相对移动。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其中

所述第二致动器是将空气压转换成推力的气动致动器。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的移动体装置，其中

所述第二致动器包括使所述第一移动体与所述第二移动体之间的振动衰减的衰减部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的移动体装置，其中

所述第一致动器是将电磁力转换成推力的线性马达。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其中所述第一致动器及所述第二致动器是与所述规定方向平行地以方向为中心，设置在同轴上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的移动体装置，其中

所述致动器单元包括使所述第一移动体及所述第二移动体在所述规定方向即第一方向上相对移动的第一致动器单元，

所述第一致动器单元是在与所述第一方向交叉的第二方向上隔开地设置有多个。

9.根据权利要求8所述的移动体装置，其中

所述致动器单元包括使所述第一移动体及所述第二移动体在所述第二方向上相对移动的第二致动器单元，

所述第二致动器单元在所述第一方向上隔开地设置有多个。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的移动体装置，其中

所述控制系统进行基于所述第一移动体的驱动目标位置的前馈控制，使用所述致动器单元的所述第二致动器。

11.根据权利要求10所述的移动体装置，其中

所述控制系统进行基于所述第一移动体相对于所述驱动目标位置的位置误差的反馈控制，

在所述反馈控制中，将所述第一致动器用于高带宽内的位置控制，并且将所述第二致动器用于低带宽内的位置控制。

12.根据权利要求11所述的移动体装置，其中

所述控制系统在所述高带宽与所述低带宽之间的中带宽内，利用所述第二致动器进行所述反馈控制。

13.一种曝光装置，包括：

根据权利要求1至12中任一项所述的移动体装置；以及

图案形成装置，对保持于所述移动体装置的所述第一移动体上的物体，利用能量射束形成规定的图案。

14.根据权利要求13所述的曝光装置，其中

所述物体是用于平板显示器的基板。