[发明专利]用于辅助调整射束扩展器的方法、调整辅助设备以及射束扩展器

权利要求书

1.一种用于辅助调整射束扩展器（100）的方法（1600），其中该射束扩展器（100）具有：带有光入射开口（104）和光出射开口（108）的接纳管（102），以及至少一个光学元件（200，202，204），该光学元件布置在该光入射开口（104）与该光出射开口（108）之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口（104）输入的射束（106）的直径，其中该方法（1600）包括以下步骤：

通过测量与该接纳管（102）耦合的参考面（114）来确定（1610）该射束（106）沿着该射束扩展器（100）的光轴（110）的额定位置，并且通过测量该射束（106）相对于该接纳管（102）的横截面（300，302）的能量分布来确定该射束（106）沿着该光轴（110）的实际位置；

通过对比该实际位置与该额定位置来获取（1620）代表该实际位置与该额定位置之间的偏差的偏差值（1502）；以及

输出（1630）辅助信息（124），该辅助信息用于在使用该偏差值（1502）的情况下在进行调整时辅助使用者。

2.根据权利要求1所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量该射束（106）相对于该横截面（300，302）的温度分布和/或亮度分布来确定该实际位置。

3.根据以上权利要求之一所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量在该光学元件（200，202，204）的光学有效面处和/或在该接纳管（102）处和/或在射束方向上位于光入射开口（104）上游的位置处和/或在接纳管（102）的纵向方向上的至少两个不同位置处的能量分布来确定该实际位置。

4.根据权利要求1所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量沿着该横截面（300，302）在至少两个不同的测量方向上的能量分布来确定该实际位置。

5.根据权利要求4所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量在彼此正交的测量方向上的能量分布来确定该实际位置。

6.一种用于辅助调整射束扩展器（100）的调整辅助设备（112），其中该射束扩展器（100）具有：带有光入射开口（104）和光出射开口（108）的接纳管（102），以及至少一个光学元件（200，202，204），该光学元件布置在该光入射开口（104）与该光出射开口（108）之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口（104）输入的射束（106）的直径，其中该调整辅助设备（112）具有以下特征：

与该接纳管（102）耦合或能够耦合的参考面（114）；

传感器装置（116），该传感器装置通过测量该参考面（114）来确定该射束（106）沿着该射束扩展器（100）的光轴（110）的额定位置并且通过测量该射束（106）相对于该接纳管（102）的横截面（300，302）的能量分布来确定该射束（106）沿着该光轴（110）的实际位置；以及

分析装置（122），该分析装置用于通过对比该实际位置与该额定位置来获取代表该实际位置与该额定位置之间的偏差的偏差值（1502）并且输出辅助信息（124），该辅助信息用于在使用该偏差值（1502）的情况下在进行调整时辅助使用者。

7.根据权利要求6所述的调整辅助设备（112），其中该传感器装置（116）具有至少一个温度传感器和/或至少一个光传感器。

8.根据权利要求6或7所述的调整辅助设备（112），其中为了确定该实际位置和/或该额定位置，该传感器装置（116）具有在射束方向上位于该光入射开口（104）上游的传感器板（1100），该传感器板具有至少两个传感器（1101），这些传感器用于测量在入射到该接纳管（102）中时该射束（106）的反射。

9.一种射束扩展器（100），具有以下特征：

带有光入射开口（104）和光出射开口（108）的接纳管（102）；

至少一个光学元件（200，202，204），该光学元件布置在该光入射开口（104）与该光出射开口（108）之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口（104）输入的射束（106）的直径；以及

根据权利要求6至8之一所述的调整辅助设备（112）。