[发明专利]液体中等离子体发生装置和液体处理装置

权利要求书

1.一种液体中等离子体发生装置，其特征在于，具备：

框体，其由电介质形成且具有将铅垂方向作为轴向的筒状体；

气体供给管，其在所述筒状体的内部空间内与所述筒状体同轴地设置，且在所述内部空间内具有向上开设的开口并从该开口向所述内部空间排出气体；

气体导入部，其向所述气体供给管导入所述气体；

第一电极，其在所述气体供给管内与所述气体供给管同轴地设置，并经由所述气体供给管的所述开口向所述内部空间朝上突出，且该突出部位具有导体部被电介质覆盖的结构；

第二电极，其与所述气体供给管同轴且具有从侧方围绕所述第一电极的所述突出部位设置的导体部；以及

电压施加部，其向所述第一电极和所述第二电极之间施加电压，

在所述框体设置有：导入口，其在比所述突出部位靠下方将液体导入所述内部空间；以及送出口，其在比所述突出部位靠上方将所述液体向外部送出，在所述内部空间中的所述筒状体的内侧面与所述气体供给管之间保持所述液体，

所述第二电极的所述导体部通过电介质与所述液体隔离，

所述突出部位和所述第二电极之间的空间是供从所述开口排出的所述气体流通的流路，

从所述气体导入部向所述气体供给管导入的所述气体的流量被设定为形成包裹所述突出部位的气泡。

2.根据权利要求1所述的液体中等离子体发生装置，其特征在于，

俯视观察时，所述突出部位位于所述开口的内部，所述第二电极围绕在所述开口的周围。

3.根据权利要求1或2所述的液体中等离子体发生装置，其特征在于，

侧视观察时，所述突出部位与所述第二电极至少一部分彼此重叠。

4.根据权利要求1或2所述的液体中等离子体发生装置，其特征在于，

所述第一电极是沿着所述气体供给管的管轴延伸的棒状体，该棒状体的侧面与所述气体供给管的内侧面之间的空间成为所述气体的流路。

5.根据权利要求1或2所述的液体中等离子体发生装置，其特征在于，

所述框体具有由电介质形成的筒状体，所述第二电极设置于所述筒状体的外周面。

6.根据权利要求1所述的液体中等离子体发生装置，其特征在于，

所述第二电极的所述导体部是围绕所述筒状体的外周面的环状的导体。

7.根据权利要求5所述的液体中等离子体发生装置，其特征在于，

所述第二电极的所述导体部是围绕所述筒状体的外周面的环状的导体。

8.一种液体处理装置，其生成含有活性种的处理液，

所述液体处理装置的特征在于，具备：

权利要求1所述的液体中等离子体发生装置；

向所述导入口供给所述液体的液体供给部；以及

将从所述送出口送出的所述液体作为所述处理液贮存的贮存部。

9.根据权利要求8所述的液体处理装置，其特征在于，

所述液体供给部将贮存于所述贮存部的所述液体供给至所述导入口。