[发明专利]光谱测定方法、光谱测定装置以及宽波段脉冲光源单元有效
申请号: | 201880036736.0 | 申请日: | 2018-06-06 |
公开(公告)号: | CN110730903B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 太田彩;横田利夫 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01J3/433;G01N21/31;G02F1/365 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐殿军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光谱 测定 方法 装置 以及 波段 脉冲 光源 单元 | ||
1.一种光谱测定方法,其特征在于,
使被测定光与在脉冲内波长随时间变化的频谱为已知的宽波段脉冲光干涉,通过检测器检测所产生的干涉光的强度,将从检测器输出的值的时间性变化即干涉图进行傅里叶转换,并通过将该结果按照上述已知的宽波段脉冲光的频谱进行标准化,来得到被测定光的每个波长的光强度,该被测定光是使上述宽波段脉冲光不向物体照射而从物体发出的光。
2.如权利要求1所述的光谱测定方法,其特征在于,
上述被测定光是从发光物体发出的光。
3.如权利要求1或者2所述的光谱测定方法,其特征在于,
上述宽波段脉冲光是在脉冲内波长随时间连续地变化的光。
4.如权利要求1或者2所述的光谱测定方法,其特征在于,
上述宽波段脉冲光是使从激光源发出的光产生非线性光学效果而得到的超连续光。
5.如权利要求4所述的光谱测定方法,其特征在于,
上述宽波段脉冲光是使上述超连续光脉冲伸长了的光。
6.如权利要求1或者2所述的光谱测定方法,其特征在于,
是通过获取单元获取来自上述检测器的输出信号的方法,上述宽波段脉冲光的重复周期为获取单元的获取周期以上。
7.如权利要求6所述的光谱测定方法,其特征在于,
上述获取单元为示波器。
8.如权利要求1或者2所述的光谱测定方法,其特征在于,
使上述宽波段脉冲光在不与上述被测定光干涉的状态下向检测器入射,将来自该检测器的输出与上述干涉光的光强度进行比较。
9.如权利要求1或者2所述的光谱测定方法,其特征在于,
上述宽波段脉冲光中的一个脉冲的长度为100纳秒以上,波段为100纳米以上,重复频率为10MHz以下。
10.一种光谱测定装置,其特征在于,具备:
宽波段脉冲光源单元,发出在脉冲内波长随时间变化的频谱为已知的宽波段脉冲光;
干涉光学系统,使被测定光与来自宽波段脉冲光源单元的宽波段脉冲光干涉;
检测器,对通过干涉光学系统而干涉后的光的强度进行检测;以及
运算处理单元,将从检测器输出的值的时间性变化即干涉图进行傅里叶转换,并通过将该结果按照上述已知的宽波段脉冲光的频谱进行标准化,来得到被测定光的每个波长的光强度。
11.如权利要求10所述的光谱测定装置,其特征在于,
上述宽波段脉冲光源单元发出在脉冲内波长随时间连续地变化的宽波段脉冲光。
12.如权利要求10或者11所述的光谱测定装置,其特征在于,
上述宽波段脉冲光源单元具备激光源以及非线性光学元件,该非线性光学元件使来自激光源的激光产生非线性光学效果并作为上述宽波段脉冲光而输出超连续光。
13.如权利要求12所述的光谱测定装置,其特征在于,
上述宽波段脉冲光源单元具备使从上述非线性光学元件输出的上述超连续光脉冲伸长的伸长元件。
14.如权利要求10或者11所述的光谱测定装置,其特征在于,
具备获取来自上述检测器的输出信号的获取单元,
上述宽波段脉冲光源单元以获取单元的获取周期以上的重复周期发出上述宽波段脉冲光。
15.如权利要求14所述的光谱测定装置,其特征在于,
上述获取单元为示波器。
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